Gebraucht NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9246247 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist ein Single-Wafer Batch-Typ chemische Dampfabscheidung (CVD) Reaktor, entworfen, um eine präzise und wiederholbare Filmabscheidung von Halbleiterbauelementen zu bieten. Der Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden, einschließlich Oxide, Nitride, Metalle und Dielektrika, und ist ideal für die Herstellung von modernen, Hochleistungsgeräten. Concept 3 Vector Express basiert auf zwei miteinander verbundenen CVD-Kammern (Chemical Vapor Deposition), die jeweils über eine eigene Heizung und einen eigenen Suszeptor verfügen. Die Suszeptoren können einzeln und unabhängig voneinander von und zur Heizzone bewegt werden, wodurch ein verstellbares Prozessfenster bereitgestellt wird. Der Vector Express kann auch bis zu drei Vorläufer enthalten, die in die Kammer injiziert werden können, um verschiedene Schichten abzuscheiden, alle mit einem einzigen Prozess. NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist außerdem in der Lage, die Gleichmäßigkeit von Oxid-, Nitrid- und Embedded-Gate-Strukturen von 1,3 Nanometern zu überschreiten, was die Herstellung von Ultrakleintransistoren der nächsten Generation und Hochleistungs-Halbleiterbauelementen ermöglicht. Die Ausrüstung verfügt über eine hohe Übertragung, Röntgenqualität verbessert Design, bietet überlegene Oxidverdichtung und Foliendicke Gleichmäßigkeit, sowie verbesserte Lebensdauer von kritischen Komponenten. Concept 3 Vector Express enthält auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, die sowohl den Bediener als auch den Systemschutz bieten. Eine einzigartige „Jog“ -Funktion ermöglicht beispielsweise eine schnelle Auswahl verschiedener Prozessrezepte aus dem Programmierportal des Geräts sowie eine Reihe von Prozessoptionen. Darüber hinaus kann die selbstjustierende Wafergröße der Maschine Variationen in der Substratgröße oder -form kompensieren, wodurch die Variabilität verringert wird. Schließlich verfügt der Vector Express über eine Selbstdiagnose-Funktion, die Feinheiten in den Prozessdaten identifizieren und Korrekturmaßnahmen ergreifen kann, bevor der Prozess aus Spezifikationen wird. Dies verbessert sowohl die Prozesswiederholbarkeit als auch die Zuverlässigkeit, was letztlich zu höheren Ausbeuten führt. Insgesamt ist NOVELLUS Concept 3 Vector Express ein hochmoderner CVD-Reaktor zur Implementierung fortschrittlicher Halbleiterbauelementprozesse. Mit seinen präzise programmierbaren Suszeptoren, hochpräzisen Röntgenqualitätskomponenten und einem einzigartigen Jog-Feature ist der Vector Express für die effiziente Produktion der kleinsten, zuverlässigsten und leistungsstärksten Halbleiterbauelemente von heute konzipiert.