Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9169845 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector ist ein mehrachsiger chemischer Aufdampfreaktor (MPCVD) zur Abscheidung komplexer Nanostrukturen. Es ist ideal für fortgeschrittene Materialien und Geräteanwendungen, die mehr Materialgleichmäßigkeit und Konformität erfordern. Der Vektor enthält zwei unabhängig voneinander gesteuerte Achsen, um sicherzustellen, dass die gleichen Prozessbedingungen auf größere Substrate angewendet werden. Durch den zweiachsigen Ansatz wird sichergestellt, dass der Ätzprozess über das gesamte Substrat gleichmäßig und konsistent ist, wodurch eine gleichmäßige Übereinstimmung und wünschenswerte elektrische, optische oder mechanische Eigenschaften erzielt werden. Der Kern des Vektors ist seine Kammer und das zweiachsige lineare Übertragungssystem. Die Kammer wird druckgeregelt und die Temperatur über Heizelemente und Futtertemperatursensoren gesteuert. Das Transfersystem umfasst ein Paar Linearmotoren, zusammen mit einer Translationsstufe, um den Wafer in drei Achsen mit extrem hoher Genauigkeit genau zu positionieren und zu bewegen. Innerhalb der Kammer arbeiten Reaktoren und Gascluster zusammen, um hochpräzise Sputter- und Ätzprozesse zu ermöglichen. Bei PVD wird ein Plasma verwendet, um eine elektrische Entladung auf den zu verarbeitenden Zielmaterialien zu erzeugen. Mit dieser elektrischen Entladung wird Material aus dem Zielmaterial verdampft, das sich dann auf dem gewünschten Substrat ablagert. Beim Ätzvorgang werden Gase in die Kammer eingeleitet, die mit dem Zielmaterial reagieren und auf dem Substrat eine dünne Schutzschicht bzw. Ätzmuster erzeugen. Der Vector umfasst auch mehrere Prozesswerkzeuge, wie die Kammerauskleidungen und Prozessabdeckungen, die zusätzliche Gleichmäßigkeit und Konformität mit dem Ätzprozess bieten. Auch diese Prozesswerkzeuge verhindern Verschmutzungen innerhalb der Kammer und ermöglichen ein schnelles thermisches Zyklus. Das Design des Vector ermöglicht eine hohe Wiederholbarkeit, geringe Defekte, kompatibel mit MEMS-Verarbeitung und Biokompatibilität. Sein hochauflösendes, defektarmes Bildgebungssystem ermöglicht die Prozessüberwachung und -steuerung. Der Vector bietet schnelles thermisches Cycling und behält während des gesamten Prozesses eine hohe Gleichmäßigkeit bei und behält gleichzeitig niedrige Gesamtbetriebskosten bei.