Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9191085 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector ist ein Hochleistungsabscheidungsreaktor, der in CVD-Anwendungen (Chemical Vapor Deposition) eingesetzt wird. Es verfügt über mehrere integrierte Prozesskammern, die Niederdruck-chemische Dampfinfiltration (CVI), Hochdruck-CVD, Atomschichtabscheidung (ALD) und plasmaverstärktes CVD (PECVD) ermöglichen. Der Vektor verwendet einen geschlossenen, resonanzgesteuerten Substratheizer, um eine sehr gleichmäßige Wärmeleistung über das Substrat während der Abscheidung zu gewährleisten. Der Vector ist mit einer programmierbaren Gasverteilungsplatte ausgestattet, die höchste Flexibilität ermöglicht und eine genaue und präzise Abgabe von Reaktantgasen gewährleistet. Seine Gasverteilungsplatte enthält Gasschaltventile, die zum schnellen Ausschalten von Reaktantgasen und zum Austausch durch frische Reaktantgase bei Bedarf ausgelegt sind - wodurch der Gasabfluss reduziert und die Prozessausbeuten verbessert werden. Darüber hinaus verfügt der Vector über konfigurierbare automatisierte Injektionssysteme und Heißfilamentstrahler, die eine komplizierte Kontrolle der in der Abscheidekammer vorhandenen reaktiven Spezies ermöglichen - was eine bessere Kontrolle des Abscheidungsprozesses ermöglicht. Der Vektor ist auch für ultrahohe Temperaturen konzipiert und ermöglicht Hochleistungsanwendungen wie Metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) und organische chemische Dampfabscheidung (OCVD). Sein geschlossenes, Hohlkegeltiegel-Design schafft eine einzigartige Misch- und Chemie-transferierende Umgebung, die eine verbesserte Reaktivitätskontrolle und eine bessere Prozessüberwachung und -steuerung ermöglicht. Der Vector verfügt auch über ein fortschrittliches Temperaturkontrollsystem, um eine hochpräzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit innerhalb der Abscheidekammer zu gewährleisten. Sein proprietäres Wärmemanagementsystem umfasst mehrere Schichten der Wärmedämmung zwischen heißen Zonen und seinen inneren Teilen, was eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die gesamte Substratoberfläche ermöglicht. Dieses fortschrittliche Wärmemanagementsystem, kombiniert mit der Hochleistungs-Hardware des Vector, bietet hervorragende Wiederholbarkeit und Einheitlichkeit über Abscheidungsprozesse hinweg. CONCEPT 3 Vector ist ein großartiges Werkzeug für CVD-Anwendungen, das eine hochpräzise Temperaturregelung, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es eignet sich gut für komplexe Prozesse wie MOCVD und OCVD, was eine überlegene thermische Leistung und eine breite Palette von Reaktantgasen ermöglicht.