Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 3 #162059 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 3 ist ein hochmoderner CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für die industrielle Produktion von Halbleiterscheiben in großem Umfang ausgelegt ist. Es wurde entwickelt, um eine überlegene Prozessgleichförmigkeit und Gerätequalität zu erreichen, die für die Herstellung zuverlässiger integrierter Schaltungen unerlässlich sind. CONCEPT 3 zeichnet sich durch eine Dreikammerdesign aus. Die obere Kammer verwendet eine Platte aus Quarz und Quellgaseinlässen, die in den Wänden angeordnet sind, um die Umgebung zu schaffen, die zum Diffundieren und Abscheiden aufeinanderfolgender Schichten von Folie auf dem Substrat erforderlich ist. Die mittlere Kammer sorgt für die Temperaturregelung, die erforderlich ist, um die Reaktion der flüchtigen Reaktionsspezies, die in der oberen Kammer erzeugt werden, aufrechtzuerhalten. Die Bodenkammer ist eine Übergabezone, die bei Bedarf Wafer zwischen Kammern transportiert. Die drei Kammern sorgen für die gleichzeitige Abscheidung hochwertiger Dünnschichten auf mehreren Wafern. Die Elektroden des Reaktors befinden sich in unmittelbarer Nähe des Substrats, was eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit ermöglicht. Diese Anordnung ermöglicht auch die Möglichkeit, das Substrat unabhängig und präzise durch den Einsatz frequenzgesteuerter HF-Stromquellen zu erwärmen oder zu kühlen. Dieses Merkmal ermöglicht eine präzise Kontrolle der Schichtdicke, Zusammensetzung und thermischen Stabilität in jedem Wafer. NOVELLUS CONCEPT 3 nutzt modernste Sicherheits- und Automatisierungsfunktionen. Der Einsatz von Mensch-Maschine-Schnittstelle ermöglicht maximale Optimierung von Parametern und Fernüberwachung des Prozessstatus. Darüber hinaus ist die Software für die Serienproduktion, Datenerfassung und Berichterstattung ausgelegt. CONCEPT 3 ist eine ideale Wahl für Unternehmen, die einen Hochleistungs-CVD-Reaktor suchen. Sein einzigartiges Design und seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Herstellung zuverlässiger, hochwertiger integrierter Schaltungen auf effiziente und kostengünstige Weise.