Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 3 #293644795 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 3 ist ein Hochleistungs-PECVD-Reaktor (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), der für Abscheidungs- und Ätzprozesse in erster Linie in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieses Werkzeug ist ein hochpräzises und leistungsstarkes Abscheidewerkzeug für hochvolumige, großflächige Linsenkomponenten. CONCEPT 3 nutzt eine einzigartige Reaktorkammerarchitektur mit vier unabhängig voneinander positionierten Räumen. Jeder dieser Räume kann unabhängig voneinander separate CVD-Prozesse und/oder Ätzprozesse enthalten. Das Ergebnis dieses einzigartigen Designs ist, dass vier Prozessmodule gleichzeitig ausgeführt werden können, was schnellere Durchlaufzeiten und eine hohe Gleichmäßigkeit der Prozesse ermöglicht. Der PECVD-Reaktor verwendet eine Vielzahl von Ätzprozessen für besondere Bedürfnisse, einschließlich induktiv gekoppelter Plasmaetch (ICP Etch) und reaktiver Ionenetch (RIE). Dies soll das Abscheiden und Ätzen von gleichmäßigen und präzisen Filmbeschichtungen auf großen, mehrschichtigen Wafern und Bauteilen erleichtern. NOVELLUS CONCEPT 3 ist mit fortschrittlicher Automatisierungs- und Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, mit der Anwender ihre Prozessparameter sofort optimieren können. Anwender können den gesamten Prozess mit wenigen einfachen Schritten einrichten und die Prozessbedingungen mitten in einem vorgegebenen Lauf schnell ändern, um die Effizienz ihrer Produktion zu verbessern. Das Endergebnis sind bessere Qualität, schnellere Produktionszeiten und reduzierte Produktkosten durch eine präzisere Steuerung des Substrats. CONCEPT 3 verfügt zudem über ein einzigartiges „Hybrid Cooling“ System, das eine flexible Temperaturregelung über jede der vier Kammern ermöglicht. Diese Funktion macht das Werkzeug unglaublich vielseitig und ermöglicht höhere Temperaturen für schnelleres Ätzen von härteren Materialien oder niedrigere Temperaturen für empfindliche Ätzarbeiten. Es hilft auch, ein Verziehen des Substrats aufgrund extremer Temperaturunterschiede zwischen den verschiedenen Kammern zu verhindern. Insgesamt ist NOVELLUS CONCEPT 3 ein fortschrittliches und vielseitiges PECVD-Reaktorwerkzeug, das die Hochgeschwindigkeitsabscheidung fortschrittlicher Mehrschichtwafer und -komponenten ermöglicht. Es verfügt über eine innovative Kammerarchitektur, die unabhängig mehrere Prozesse unterbringen kann, fortschrittliche Prozessautomatisierung und -steuerung und ein Hybridkühlsystem, das eine bessere Temperaturregelung bietet. All diese Merkmale machen CONCEPT 3 zu einer idealen Wahl für die schnelle und präzise Abscheidung von großflächigen Komponenten.