Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One-150 #293758274 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One-150 ist eine mittelgroße Gas-Plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Der Reaktor verfügt über ein fortschrittliches Design und eine robuste Konstruktion, um hochleistungsfähige Prozessergebnisse zu ermöglichen. Das One-150 ist wirklich eine universelle Plattform für Abscheidungsanwendungen, die fortschrittliche Designfunktionen und intelligente Prozesssteuerungen verwendet, um eine breite Palette von Prozesschemien mit hoher Selektivität zu unterstützen. Der Reaktor ist mit einer Hochfrequenzstromquelle von 1300 W, einem Vakuumsystem, das Drücke unter 40 mTorr erreichen kann, und einem NOVELLUS ALC-Gaskrümmer ausgestattet, der bis zu 10 Gase handhaben kann. Es verfügt auch über eine beeindruckende Anzahl von Prozesssensoren (Temperatur, Druck und Wafertemperatur) und Rückkopplungsschleifen zur Feinsteuerung von Prozessparametern. Das One-150 ist außerdem mit einer Zonentemperaturregelung, einer beeindruckenden elektrostatischen Spannfähigkeit und einem mit Kryopumpen ausgestatteten Pumpenpaket ausgestattet, das der CVD-Einheit ein maximales Prozessfenster gibt. Der Reaktor verfügt über eine flexible Vierzonenkonfiguration, wobei die beiden zentralen Prozesszonen die Temperaturen steuern. Dieser Ansatz soll eine präzise Prozesskontrolle gewährleisten, die exakte Prozessergebnisse ermöglicht. Die Zonen sind alle für die hochproduktive CVD-Verarbeitung optimiert, mit präzisen Temperatursollwerten, Abkühlzeiten, Zieltemperaturen und genauer Kontrolle der Abscheiderate. Das One-150 ist auch mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware ausgestattet. Dies gewährleistet eine präzise konforme Foliendicke über den gesamten Wafer mit sehr gleichmäßigen Folieneigenschaften und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit innerhalb der vom Kunden eingestellten Toleranzen. Die Software verfügt über eine ausgeklügelte Parametersteuerung und kann Prozessbedingungen für eine Vielzahl von Prozesschemien optimieren. Es enthält auch eine umfassende Datenbank mit Prozessrezepten, die dazu beiträgt, die Wiederholbarkeit durch einen kontrollierten und reproduzierbaren Prozess sicherzustellen. Abschließend ist NOVELLUS CONCEPT ONE 150 eine leistungsstarke CVD-Maschine, die den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Mit seinem fortschrittlichen Design und seiner robusten Konstruktion unterstützt es eine breite Palette von Prozesschemien, um hochleistungsfähige Prozessergebnisse zu liefern. Die ausgeklügelte Prozesssteuerungssoftware ermöglicht eine präzise konforme Filmabscheidung mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer. Insgesamt ist die One-150 eine zuverlässige und hochqualitative Maschine, die in jeder Halbleiterverarbeitungsanlage ein wertvolles Gut wird.