Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One-150 #293807073 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One-150 ist ein von NOVELLUS Systems Inc. Es ist ein hochautomatisiertes Werkzeug, das das kontrollierte, gleichmäßige Abscheiden von dünnen Folien ermöglicht. NOVELLUS CONCEPT ONE 150 verfügt über eine rechteckige Reaktionskammer mit einem festen Volumen von 150 Kubikzentimetern (cc). Die Kammer ist auch isoliert, um die thermische Stabilität zu erhalten. Das Werkzeug verfügt zudem über integrierte Inertgas- und chemische Dampfeinspritzung sowie In-situ-Druckmessungen. Dadurch können die Abscheideprozessparameter wie Druck, Temperatur und Reaktantkonzentrationen genau gesteuert werden. Damit die Kammer beheizt und gekühlt werden kann, ist die Maschine mit einer elektrischen Widerstandsheizung aus Quarz und einem flüssigen Stickstoff-Wärmeübertragungsblock ausgestattet. Die Maschine ist in einen fortschrittlichen Mehrzonen-Temperaturregler eingeschlossen, der eine unabhängige Zonenheizung und -kühlung sowie eine enge Temperaturregelung ermöglicht. CONCEPT ONE - 150 ist ein Benchtop-CVD-System, das von einer programmierbaren Zentraleinheit (CPU) gesteuert wird. Es ist in der Lage, mehrere vorprogrammierte Anwendungen, wie chemische Dampfabscheidung, thermische Verarbeitung und Zyklen. Der Reaktor ermöglicht die Abscheidung verschiedener dünner Filme, darunter fluoriertes Polysilizium und Siliziumnitrid. Es wird auch verwendet, um Wafer mit kleinen Teilchen aus Metallen, Legierungen, Dielektrika und Isolatoren zu beschichten. NOVELLUS CONCEPT ONE - 150 verfügt über die Fähigkeit, eine niedrige Prozessdrift aufrechtzuerhalten und lange Läufe durchzuführen, was es gut für die Massenproduktion geeignet macht. Es wurde für minimale Wartung und hohe Verfügbarkeit konzipiert, um Betriebskosten zu reduzieren. Das Werkzeug ist sehr zuverlässig und einfach zu bedienen und einzustellen, mit einer sehr robusten und wiederholbaren Abscheideplattform.