Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One-150 #293813033 zu verkaufen

Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One-150
ID: 293813033
Wafergröße: 6"
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system, 6".
NOVELLUS CONCEPT One-150 ist ein Hochleistungsreaktor für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Mit Hilfe von chemischen Aufdampfverfahren (CVD) oder Atomic Layer Deposition (ALD) kann NOVELLUS CONCEPT ONE 150 zum Aufbringen dünner Filme auf und innerhalb von Substraten verwendet werden. Es grenzt mit einer Vielzahl von Prozessgasen, Substratmaterialien und emissionsmindernden Systemen zusammen und ist damit ein vielseitiges und adaptives Werkzeug zur Herstellung von nanoskaligen Strukturen. CONCEPT ONE - 150 basiert auf einem langlebigen und bewährten XeF2 Reaktordesign, das eine zuverlässige, wiederholbare Verarbeitung für verschiedene Folienabscheidungsanwendungen gewährleistet. Die Reaktionskammer selbst besteht aus folgenden Komponenten: der Kammer, der Deckelanordnung, einem Quellfach, einer Stromversorgung, einem Gasverteiler und Fördersystem, einer Gasabgasöffnung, Probenöffnungen und der Prozesskammer. Alle diese Komponenten können für verbesserte Abscheidungsraten und schnelleres Materialwachstum angepasst werden. CONCEPT One-150 ist in der Lage, Reaktanden mit Höchstgeschwindigkeiten von 150x10-6 Torr abzuscheiden, was eine schnellere Geräteherstellung und einen verbesserten Durchsatz ermöglicht. Zusätzlich werden auch wasserstofffreie Abscheidungsprozesse unterstützt, die einen kostengünstigen Auslass für fortgeschrittene Halbleiterkonstruktionen bieten. NOVELLUS CONCEPT ONE - 150 wurde entwickelt, um einfach zu bedienen und zu warten, mit optionaler Computerautomatisierung und leicht verständlichen Mensch-Maschine-Schnittstellen. Darüber hinaus ist es mit einer umfassenden, hochmodernen Diagnose wie programmierbaren Leckagetests und selbstjustierenden Abstimmbereichen ausgestattet, die stets optimale Bedingungen gewährleisten. CONCEPT ONE 150 wird auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsprotokollen geliefert, um Personal und Eigentum zu schützen, einschließlich fortschrittlicher Brandunterdrückung, Vakuumniveauregelung, automatischer Abschaltung und Druckkontrollsysteme. Insgesamt bietet NOVELLUS CONCEPT One-150 einen vielseitigen und zuverlässigen Einwaferreaktor, der gleichmäßige und fehlerfreie Dünnschichten herstellen kann. Es ist eine ideale Lösung für eine Reihe fortschrittlicher Halbleiterverarbeitungsanwendungen, die hohe Präzision, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit erfordern.
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