Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248601 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One-150 ist ein für Forschung und Entwicklung geeigneter Einkammer-Reaktor vom Typ CVD/ALD (Chemical Vapor Deposition/Atomic Layer Deposition) sowie eine breite Palette fortschrittlicher Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das One-150 bietet ein kompaktes Design, das sowohl die Integration in manuelle Verarbeitungssysteme als auch in automatisierte Clusterwerkzeuge ermöglicht. Die Reaktorkammer ist mit SUS316 Edelstahl ausgekleidet und bietet einen zusätzlichen leichten Deckel aus Aluminiumlegierung. Die Kammerabmessungen sind 150mm (Ø) x 150mm tief und können bis zu 30 Wafer mit 6 Zoll Durchmesser (200mm) oder 12 Wafer mit 4 Zoll Durchmesser (100mm) aufnehmen. Es ist mit einer geschlossenen HF-Heizung ausgestattet, die gleichmäßige Temperaturen bis zu Atmosphärendruck oder niedriger ermöglicht. Es steht ein Brenngasströmungssystem zur Verfügung, das eine Vielzahl von Gasen unterstützt, einschließlich Oxidationsmittel, Reduktionsmittel, Nitride und Fluoride, und spezielle Kammern können extrem reaktive Materialien verarbeiten. Der Reaktor ist mit einem niederbelastbaren elektrostatischen Spannfutter (ESC) versehen, das bis zu sechs Wafer pro Charge aufnehmen kann. Der ESC ist auch einfach automatisiert und kann manuell konfiguriert oder in ein Cluster-Tool integriert werden. Die Quelle ist so konzipiert, dass Quellen aus demselben Reaktor versendet werden können, wodurch mehrere Vorläufer möglich sind. Das Steuergerät umfasst eine Feinsteuerung der ESC-Netzspannung und eine Echtzeitanzeige aller kritischen Parameter. Eine Hochdruck-Gasfördermaschine ermöglicht schnelle Druckänderungen, die kurze Verarbeitungsläufe ermöglichen. Der Reaktor bietet auch kontrollierbare Abscheideraten und Temperaturen sowie einstellbare Gesamtprozesszeit. Die Ein-150 erlauben fortgeschrittene Mehrtechnologieverarbeitungsfähigkeiten mit der Fähigkeit, gleichzeitig das Ausglühen, die Oxydation, die Absetzung und das Ätzen durchzuführen. Es kann auch komplexere Prozesse wie atmosphärische und Inline-Abscheidung, Ätzen, Oxidation, Ätzen, Abscheidung und Nanotechnologie Anwendungen unterstützen. Darüber hinaus erleichtert sein Design die Integration in Clustersysteme. In der Zusammenfassung ist NOVELLUS KONZEPT 150 ein effizienter und kompakter CVD/ALD-Reaktor, fortgeschrittene Mehrtechnologieverarbeitungsfähigkeiten und leichte Integration mit Traubensystemen zeigend. Granulare Steuerung von Abscheideraten und Temperatur, zuverlässiges HF-Heizwerkzeug und präzises Brennstoffgasflussdesign machen dieses Gut sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für Fertigungsprozesse im Vollmaßstab geeignet.