Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250100 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One-150 (C1-150) ist ein vertikaler CVD-Reaktor für hohe Serienproduktion und hohen Durchsatz. Das C1-150 bietet Flexibilität und Zuverlässigkeit mit konfigurierbarer Automatisierung, anpassbaren Prozessparametern und einem optimierten Design. Das C1-150 ist mit einer robusten Konstruktion und hochbelastbaren Komponenten gebaut, so dass es extreme Drücke von bis zu 20 Torr (2,7 kPa) und Temperaturen von bis zu 2000 ° C zu bewältigen. Das C1-150 verfügt über eine variable, vertikale Niederdruckreaktorkammer, ausgestattet mit einer integrierten Pumpausrüstung, einem Hochleistungs-Thermoüberwachungssystem und einer Niedertemperatur-Konservierungseinheit. Es kann drei Abscheidungsquellen aufnehmen, einschließlich Flüssigkeits-, Gas- und Dampfphasenumgebungen, und kann bis zu 14 Stunden am Stück laufen. Das C1-150 bietet vier verfügbare Kapazitäten: PAD (Planar-Array Deposition), eine 21-Zoll-Waferkapazität; COP (Closed-Loop Oxide Processing), eine 200-Mikron-Dicke Kapazität; Dielektrisches Etch, eine 10-Mikron-Tiefenkapazität; und Metall Etch, eine 1-Mikron-Tiefenkapazität. Das C1-150 ist mit einer SCADA-Maschine (Überwachungssteuerung und Datenerfassung) ausgestattet, mit der Benutzer das Tool steuern, die nützlichen Prozessparameter in Echtzeit überwachen und in bestehende Systeme integrieren können. Das C1-150 ist außerdem mit einer vollautomatischen Quellarchitektur für eine optimierte Prozesssteuerung ausgestattet, die sich selbstkompensieren kann, um die Prozessstabilität zu erhalten. Es verfügt über ein erweitertes Control-Asset, das ein konfigurierbares Array von Parametern bietet und Daten für bis zu 99 Rezepte sicher speichert. Das C1-150 ist für die Reinraumherstellung mit einer kontrollierten Druck- und Temperaturbetriebsumgebung konzipiert, um die Prozessstabilität auf höchstem Niveau zu gewährleisten. Es bietet konfigurierbare Sicherheitsmerkmale wie Druckbegrenzungsventile, Temperaturschutzmechanismen und digitale Temperaturregler. Das C1-150 ist auch mit einem Partikelwaschmodell, einer ionisierten Sauerstoffreinigungsanlage, einem Ozon-Injektionssystem und einem HEPA-Filter ausgestattet. Die fortschrittlichen Sicherheitssysteme in Verbindung mit der integrierten Prozessrezeptbibliothek ermöglichen es Benutzern, die C1-150 an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen.