Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One-150 #9311436 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One-150 ist ein branchenführender Ultraniederdruckreaktor, der sich auf CVD- und MVG-Verfahren spezialisiert hat. Es bietet eine überlegene Kontrolle und Wiederholbarkeit der Bedingungen und bietet eine vollständige Palette von Prozessoptionen, die eine fortschrittliche Produktion ermöglichen. Dieser Reaktor ist sowohl für Fertigungsanwendungen im Pilotmaßstab als auch im Produktionsmaßstab ausgelegt. NOVELLUS CONCEPT ONE 150 verfügt über eine polymergekleidete Kammer mit einer Volumenkapazität von bis zu 150 Litern. Es bietet auch eine vollständige Palette von Prozeßkontrollparametern, einschließlich Druck, Temperatur und Gasfluss. Das Gerät ist mit bis zu zwei beheizten und gekühlten Prozessspulen, einem Kehrfiltersystem und einer flexiblen Druckplattform ausgestattet, die sowohl Prozess- als auch Sicherheitsanforderungen gerecht wird. Darüber hinaus umfasst das Gerät eine Reihe fortschrittlicher Diagnosefunktionen, integrale Messtechnik-Tools und Echtzeitanalysen der Produktqualität. CONCEPT ONE - 150 ist einfach zu bedienen und kann zur Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien wie Si, Ta, Al und Ni verwendet werden. Verschiedene Prozesse können gleichzeitig durchgeführt werden, wie Abscheidung, Oxidation, Sputtern und chemisches Ätzen. Auch fortgeschrittene Prozesse wie kapazitiv gekoppeltes Plasma (CCP) und induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) sind möglich. Die Maschine verfügt über eine programmierbare Logiksteuerung (SPS), die eine einfache Prozesssteuerung und -überwachung ermöglicht. Es ist auch mit einem breiten Spektrum fortschrittlicher Datenerfassungswerkzeuge ausgestattet, einschließlich optischer Mikroskopie, FTIR-Spektrometrie und Restgasanalyse (RGA). Diese Tools unterstützen bei der Überwachung und Überprüfung der Prozessbedingungen. CONCEPT ONE 150 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug zur Gewährleistung hoher Qualität und Wiederholbarkeit der Prozessleistung. Mit seinen vielfältigen Prozessoptionen und integrierten Überwachungswerkzeugen eignet sich das Tool ideal für die Massenproduktion integrierter Schaltungen und anderer mikroelektronischer Geräte.