Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One-200 #9171331 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One-200
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One-200
ID: 9171331
PECVD System.
NOVELLUS CONCEPT One-200 ist ein fortschrittlicher, multifunktionaler Ätzreaktor für die Integration in Halbleiterherstellungsanlagen. Die Ausrüstung ist in der Lage, tiefe, ultra-niedrige Temperatur Ätzprozesse mit einem hohen Maß an Präzision und Wiederholbarkeit zu erreichen, so dass es ideal für hohe Genauigkeit und hohe Serienproduktion. Herzstück des Systems ist eine induktiv gekoppelte Plasmaätzeinheit, die Temperaturen von bis zu 10.000 Grad Celsius erzeugen kann. Dieses Plasma wird verwendet, um Mikrostrukturen auf dem Wafer mit einer Breite von weniger als 1 μ m zu erzeugen. Diese Präzision ermöglicht eine präzise Kontrolle der Ätzprozessparameter, reduziert Kosten, verbessert den Ertrag und erhöht die Produktqualität. Die Maschine verwendet auch einen robotischen Endeffektor, der in der Lage ist, den Wafer beim Ätzen genau zu manipulieren, und ein patentiertes Wafer-Rotationswerkzeug, das Schäden an kleinen Merkmalen minimiert. Eine Suite automatisierter Software ermöglicht eine konsistente und wiederholbare Prozesssteuerung, die es dem Asset ermöglicht, mehrere Geräte in einem einzigen Lauf genau zu ätzen. CONCEPT One-200 enthält auch eine Reihe von Funktionen zur Verbesserung der Modelleffizienz und des Durchsatzes. Die Ausrüstung verwendet einen mehrstufigen Ätzprozess, um den Waferverschleiß zu minimieren, und verfügt über einen Algorithmus, der eine präzise, automatisierte Positionierung und Bewegung von Wafern für hochpräzises Ätzen ermöglicht. NOVELLUS CONCEPT One-200 ist hochgradig anpassungsfähig und benutzerfreundlich und ermöglicht ein breites Anwendungsspektrum und die Integration in bestehende Halbleiterfertigungsleitungen. Seine robuste, modulare Konstruktion macht es einfach zu installieren und zu warten, und seine erweiterbare Systemarchitektur ermöglicht Upgrades und Anpassungen nach Bedarf. Insgesamt ist CONCEPT One-200 ein fortschrittlicher Ätzreaktor, der auf hohe Genauigkeit, hohen Durchsatz und präzises, wiederholbares Ätzen ausgelegt ist. Mit seinem zuverlässigen und flexiblen Design ist es eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller, die ihre Produktion und Qualität maximieren möchten.
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