Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One C1-D #9135536 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One C1-D ist ein Hochleistungsreaktor der nächsten Generation, der von NOVELLUS Systems für fortschrittliche Abscheide- und Ätzanwendungen entwickelt wurde. Es bietet eine verbesserte Produktivität und überlegene Prozessleistung und ermöglicht eine schnellere und effizientere Herstellung kritischer mikroelektronischer Komponenten. Die Konstruktion des Reaktors basiert auf dem Konzept, dass es auf den spezifischen Prozessbedarf der elektrochemischen Abscheidung, der chemischen Dampfabscheidung (CVD) oder der Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) -Prozesse zugeschnitten werden kann. Um dieser Flexibilität gerecht zu werden, wird der Reaktor modular aufgebaut. Auf diese Weise können Benutzer die Hardware- und Prozessparameter an die spezifischen Anforderungen der Anwendung anpassen. Der Reaktor verfügt über ein optimiertes energiesparendes Design, das mehrere innovative Technologien umfasst, darunter den einzigartigen Thruster Drive Mechanism, ein geschlossenes Druckregelgerät, einstellbare Temperaturprofile und eine Prozessüberwachung in Echtzeit. Der Thruster Drive Mechanism ermöglicht einen konsistenten Wafertransport und eine gleichmäßige Verarbeitung bei geringerem Energieverbrauch. Das Druckregelsystem mit geschlossenem Regelkreis ermöglicht eine höhere Prozessgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit bei gleichzeitiger Reduzierung des Energieverbrauchs durch präzise Prozessanpassung. Die einstellbaren Temperaturprofile ermöglichen eine höhere Prozessgeschwindigkeit durch erhöhte Gleichmäßigkeit und senken gleichzeitig den Energieverbrauch. Schließlich können Prozessparameter mit der integrierten Echtzeit-Überwachungseinheit überwacht werden, um eine optimale Prozesssteuerung zu gewährleisten. Die Kammer von CONCEPT One C1-D ist auf Kompatibilität mit branchenüblichen Wafergrößen und kapazitiv gekoppelter Plasma (CCP) -Technologie ausgelegt. Die Kammer ist auch mit einer einzigartigen wassergekühlten HF-Quelle ausgestattet, die die Notwendigkeit einer großen externen Kühlmaschine eliminiert und gleichzeitig eine hohe Prozessgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit bietet. Darüber hinaus ist die Kammer mit einem fortschrittlichen Automatisierungswerkzeug für schnellen Waferaustausch, gleichmäßige elektromagnetische Felder und Fehlererkennung integriert. Insgesamt ist NOVELLUS CONCEPT One C1-D ein revolutionärer Hochleistungsreaktor, der den anspruchsvollen Anforderungen fortschrittlicher Abscheide- und Ätzanwendungen gerecht wird. Es bietet verbesserte Prozessleistung, ein optimiertes energiesparendes Design und erweiterte Fähigkeiten, um die Herstellung kritischer mikroelektronischer Komponenten zu optimieren.