Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #73827 zu verkaufen

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Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 73827
PECVD system, 5" Main body Booster pump Reacor dry pump LL pump Scrubber Generator Power requirements De-installed 1994 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One ist ein Reaktor mit hoher Produktivität und Waferbearbeitung, der für den fortschrittlichen Mikroelektronikmarkt entwickelt wurde. Es ist einer der leistungsstärksten, zuverlässigsten und flexiblen Reaktoren seiner Klasse und kann anpassbare Prozesskonzentrationen und -temperaturen liefern. Es ist mit einem patentierten NOVELLUS Drive Equipment, einem patentierten NOVELLUS Atomisierungssystem und einer NOVELLUS Controlled Cooling Unit ausgestattet, was es zur idealen Wahl für Hersteller macht, die eine hohe Leistung und eine kostengünstige Waferbearbeitung benötigen. NOVELLUS Drive Machine (NDS) ist eine fortschrittliche Technologie, die präzise, stabile und wiederholbare Prozessbedingungen für maximale Produktivität und Produktqualität liefert. Es verwendet einen innovativen Motor, eine motorgetriebene Welle und digitale Encoder, die die Bewegung der Welle mit hoher Genauigkeit verfolgen. Dies sorgt für den hohen Regelbedarf für optimale Prozessenergie und erreicht eine 45-prozentige Verbesserung der Prozessstabilität gegenüber herkömmlichen Reaktoren. NOVELLUS Atomization Tool (NAS) kombiniert hocheffiziente Zerstäubung mit präziser Prozesssteuerung. Damit Anwender die Energieeffizienz, die Prozesstemperatur und die Konzentration kontrollieren können, wurde NAS entwickelt, um einen maßgeschneiderten Prozess für spezifische Anforderungen bereitzustellen. NOVELLUS Controlled Cooling (NCC) wurde entwickelt, um die mit der Kühlung verbundenen Kosten zu senken und die Produktqualität durch gleichmäßige Kühlung des Wafers auf eine sichere Temperatur zu erhalten, bevor der Prozess beendet wird. Es verwendet einen fortschrittlichen Linearantriebsmotor, um die Prozesstemperatur genau anzupassen, die Kühlrate zu erhöhen, thermische Gradientenspannungen zu reduzieren und gleichmäßige Temperaturen im gesamten Wafer zu erzeugen. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor ist eine effiziente und zuverlässige Wahl für Hersteller, die sich einen Vorsprung in der Mikroelektronik-Industrie verschaffen möchten. Es ist als One-Stop-Lösung konzipiert, die herausragende Leistung und präzise, berechenbare Prozesssteuerung liefert. Vielseitigkeit, Langlebigkeit und Präzision machen es zur idealen Wahl für Hochleistungsprozesse.
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