Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9026266 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One ist ein Reaktor der nächsten Generation, der skalierbar und auf die einzigartigen Bedürfnisse einer wachsenden Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Es ist eine Cold Wall EUV-Quelle, die die präzise Herstellung von Komponenten ermöglicht, die in der modernen Halbleiterbauelementfertigung verwendet werden. Es ist in der Lage, Leistungsdichten von 150-400 mW/cm2 auf einer breiten Fläche von 1m x 1m mit einer mittleren Kohärenzlänge über diese Fläche von 40 cm zu erzeugen. Diese Leistungsdichte ist in der Lage, hocheffiziente EUV-Systeme bis auf eine Auflösung von 0,15 nm zu treiben. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor verfügt über eine integrierte Gaseinspritzeinrichtung, die mit einer automatisierten Gasmischtechnik arbeitet, die es ermöglicht, eine verbesserte Laserleistung mit Erwärmung des Laserhohlraums zu erzeugen. Dieses konsistente Wärmeprofil verbessert die Fokussierung des Laserstrahls und ermöglicht eine präzise Steuerung des Prozesses. Weiterhin wird sichergestellt, dass das Verfahren wiederholbar und stabil ist, was zu einer höheren Ausbeute und einem besseren Prozessaddierer führt. CONCEPT One verfügt zudem über einen aktiv umlaufenden Kühler, der Laser, Verstärkermedien und Optik am Reaktor auf gleichbleibenden Temperaturen hält. Dieses Wärmemanagementsystem arbeitet mit den In-situ-Diagnose- und Rückkopplungskühlsystemen zusammen, um die Ausgangsstabilität des Reaktors zu verbessern und eine Feinabstimmung der Prozessparameter zu ermöglichen. CONCEPT ONE verfügt ferner über eine in-situ Diagnoseeinheit, die die Messung der zeitlichen Entwicklung der Strahleigenschaften während des Fertigungsprozesszyklus ermöglicht. Dies gewährleistet eine genaue Strahlleistung und minimiert Schäden an der Optik im Laufe der Zeit. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine hocheffiziente EUV-Quelle, die eine effizientere Energieübertragung vom Laser in die Optik schafft und damit den Stromverbrauch reduziert. NOVELLUS CONCEPT One ist ein optimierter EUV-Quellreaktor, der die Halbleiterindustrie zum Erfolg bringen kann. Die Leistungs- und Temperaturregelungssysteme sowie die In-situ-Diagnose und die integrierte Gaseinspritzmaschine machen es zu einem zuverlässigen und robusten Produkt, das hocheffizient und den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird.