Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9096032 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9096032
Wafergröße: 5" - 6"
Weinlese: 1989
Nitride / Oxide System, 5" - 6", 1989 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One ist ein Ätzreaktor der nächsten Generation, der eine schnellere und effizientere Verarbeitung von Wafern in einer Halbleiterherstellungsumgebung ermöglicht. Es verfügt über bahnbrechende Prozessfunktionen, mit denen Produkthersteller ihre Produktivität skalieren und gleichzeitig die Kosten senken können. NOVELLUS CONCEPT ONE nutzt eine neuartige Kombination aus physikalischen, chemischen und biologischen Komponenten, um die höchste Ätzrate in seiner Klasse zu erreichen. Im Kern des Reaktors befindet sich eine innovative Kombination aus ultradünnen Schichten und Mikrostrukturen, die ein fortschrittliches ultrahochdichtes Plasma (UHDP) bilden, um die Ätzrate zu treiben und die Prozessleistung zu optimieren. Der fortschrittliche Ätzprozess bietet überlegene Präzision, Selektivität und Reproduzierbarkeit im Vergleich zu herkömmlichen Ätzprozessen, wodurch Kunden Zeit für Erträge und Gesamtprozesszeit reduzieren können. Der Reaktor verfügt zudem über ein einzigartiges Roboterarm-Design, das einen direkten und präzisen Betrieb von Wafer-Handling-Geräten sowie eine automatisierte Wafer-Inspektion ermöglicht. Diese fortschrittliche Wafer-Handhabung sorgt für eine extrem enge Kontrolle des Prozesses und reduziert die Kosten pro Wafer erheblich. CONCEPT One verfügt außerdem über eine proprietäre Kombination aus einheitlicher Gasverteilung und Gasflusssteuerung, um die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit der Prozesse zu gewährleisten. Dieses einzigartige Gasverteilungssystem nutzt fortschrittliche Geometrien, um eine gleichmäßige Zufuhr der Ätz- und Prozessgase zu gewährleisten, was eine schnelle Optimierung der Ätzraten und Prozessbedingungen ermöglicht. Schließlich bietet CONCEPT ONE einen neuartigen Ansatz für die Nachbearbeitung. Die integrierten Nachbearbeitungsmöglichkeiten ermöglichen eine schnelle und einfache Einbindung zusätzlicher Prozesse in den Ätzzyklus, so dass Kombinationsprozesse wie Reinigung und PVD oder PVD und Ätzen möglich sind. Diese erweiterte Nachbearbeitungsfunktion ermöglicht kürzere Prozesszeiten, verbesserte Waferqualität und erhebliche Kosteneinsparungen. Zusammenfassend ist NOVELLUS CONCEPT One ein zuverlässiger, leistungsstarker Ätzreaktor, der einen höheren Durchsatz, eine schnellere Taktzeit und deutlich reduzierte Kosten ermöglicht. Durch die Verwendung von ultrahochdichtem Plasma, Roboterarmen, einheitlicher Gasverteilung und fortschrittlichen Nachbearbeitungsfunktionen bietet es Herstellern die Werkzeuge, die sie benötigen, um ihre Produktivität zu skalieren und die Wettbewerbsfähigkeit auf dem sich ständig entwickelnden Halbleitermarkt zu erhalten.
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