Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9101005 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One ist ein revolutionärer Reaktor, der in der Lage ist, Hochleistungs-, Hochdurchsatz-, Niedertemperaturpassivierungs- und Ätzprozesse in einem Gerät zu liefern. Es ist das erste seiner Art in der Branche und wurde entwickelt, um die komplexesten Herausforderungen der Branche zu bewältigen - von fortschrittlichen Logikgeräten bis hin zu hochqualitativen Kontaktstrukturen in fortschrittlichen Verpackungen. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor arbeitet mit einer einzigartigen Kombination aus einer 1400 ° C Hotwall, flacher Graben-Isolation (STI) Ätzfähigkeit und Hochdurchsatz-Substrat-Handling. Die Warmwand erzeugt hohe Abscheidungsraten, niedrige Temperaturen des thermischen Prozesses und eine begrenzte chemische Aktivität. Dies ermöglicht einen schnelleren Sprung zu neuen Technologieknoten und verbesserte Geräteausbeuten in den fortschrittlichsten Anwendungen. Die flache Trenchisolierung (STI) wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Funktionen mit hohem Seitenverhältnis für Chip-Funktionen zu erhalten. Die hohe Durchsatzleistung des Systems ermöglicht es, über hundert Wafer pro Stunde zu strukturieren. Diese leistungsstarke Ätzfunktion verbessert das kritische Seitenverhältnis und die Gesamtbildqualität, ohne den Durchsatz zu beeinträchtigen. Die Flexibilität des CONCEPT One Reaktors ermöglicht auch den Einsatz in Bandaus- und Produktionsatmosphäre. Die Variable Pressure Chamber (VPC) Einheit ermöglicht eine dynamische Schnittstelle zwischen dem Benutzer und der Kammer, um sicherzustellen, dass alle Variationen der Umgebungsbedingungen in Echtzeit behandelt werden, um Qualitätsprodukte zu gewährleisten. Dies geschieht sowohl durch Anpassung der Vakuum- als auch der Gasströme auf dem Substrat an den externen Eingang der Applikation. CONCEPT ONE ist auch mit mehreren fortschrittlichen Hochleistungsmerkmalen ausgestattet. Es ist in der Lage, Rückmeldungen zur Prozessüberwachung sowie Leistungsrückmeldungen durch die Verwendung eines speziellen Sensorarrays bereitzustellen. Dadurch kann sich die Maschine selbstständig an sich ändernde Prozessumgebungen anpassen, um die ultimative Leistung der Anwendung zu erhalten. Darüber hinaus bieten die selbstlernenden Fähigkeiten des Tools die Möglichkeit, die Parameter jeder spezifischen Anwendung zu optimieren. Gemeinsam hebt der NOVELLUS CONCEPT One Reaktor den Passivierungs- und Ätzprozess auf ein neues Niveau und liefert schnellere Erträge als je zuvor. Spannende neue Leistungspotenziale werden mit NOVELLUS CONCEPT ONE und seinen hochmodernen Features ermöglicht.