Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9113371 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One ist ein Reaktortyp für die chemische Dampfabscheidung (CVD) dünner Filme. Der Reaktor ist für maximale Effizienz ausgelegt und bietet höchste Leistung und Produktivität für verschiedene Prozesse. Es ist für die Abscheidung von selbstmontierten Monoschichten (SAMs) konzipiert und kann bis zu fünf Schichten in einem Zyklus abscheiden. Der Reaktor ist mit einem Hochleistungsventil, Lösungssteuergeräten (SCS) und fortschrittlichen Prozessleitsystemen ausgestattet. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor ist in der Lage, Substrattemperatur, Reaktionschemie und Abscheidungsdrücke sowie andere Parameter zu steuern. Es ist auch mit einer hochpräzisen Gassteuerung ausgestattet, die die Steuerung von Gas- und Dampfströmungen ermöglicht. Der Reaktor verwendet mehrere Elektroden und Stromquellen. Dieses Merkmal bietet Flexibilität im Abscheidungsprozess, so dass der Benutzer die Temperatur, die Lösung, den Druck und den Gasfluss leicht anpassen kann, um die Abscheidung des dünnen Films zu optimieren. CONCEPT One verfügt über eine fortschrittliche Temperaturregeleinheit, die Temperatur für verschiedene Prozesse wie Thermisch unterstütztes CVD (TAV), Sauerstoff unterstütztes CVD (OAV) und Chemisch unterstütztes CVD (CAV) hält. Die Temperatur wird durch mehrere Thermoelemente geregelt, die innerhalb der Kammer angeordnet und in Echtzeit überwacht werden. Diese Maschine ist typischen Temperaturreglern überlegen, die die Temperatur schlagartig verschieben und häufige Werkzeugrekalibrierung und manuelle Einstellungen erfordern. Das Advanced Solution Control Asset (SCS) von CONCEPT ONE bietet eine beispiellose Kontrolle über die Lösungschemie. Es besteht aus zwei Komponenten: der anodischen Aktivierung und der kathodischen Aktivierung. Die anodische Aktivierung ermöglicht es, Substrat und Probe durch Potential, Temperatur und Reaktionszeit vorzuzyklieren. Durch die kathodische Aktivierung kann das Substrat durch Potential, Temperatur und Reaktionszeit nachgearbeitet werden. Dieses Modell erhöht die Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit des Abscheideprozesses. NOVELLUS CONCEPT Ein Reaktor ist mit einer fortschrittlichen Prozesssteuerung ausgestattet, die als primäre Schnittstelle zwischen dem Benutzer und dem Reaktor dient. Es enthält Anweisungen für alle Prozesse sowie Echtzeit-Feedback zu den Prozessparametern. Die von diesem System bereitgestellten Informationen werden auch zur Optimierung des Abscheideprozesses verwendet. Die Einheit ist in der Lage, Anomalien zu diagnostizieren, Korrekturmaßnahmen zu ergreifen und detaillierte Histogramme der Prozesse bereitzustellen. Alle oben genannten Merkmale machen NOVELLUS CONCEPT ONE zu einem effizienten und hochproduktiven Reaktor für den Einsatz in chemischen Aufdampfanwendungen. Die Maschine ermöglicht es einem Anwender, die Abscheideparameter für verschiedene Prozesse genau zu steuern, den Prozess zu optimieren und den Durchsatz und die Ausbeute der Abscheidung zu erhöhen. CONCEPT One ist mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften ein überlegener Reaktor zur Abscheidung dünner Filme.