Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9144774 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One ist ein leistungsstarker Einzelwaferreaktor, der für fortschrittliche Abscheide- und Ätzprozesse in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Mit einer neuartigen Single-Wafer-Architektur bietet NOVELLUS CONCEPT ONE überlegene Kontrolle und Erträge mit optimierter Wafersymmetrie und Gleichmäßigkeit. CONCEPT One ist für reduzierte Partikelzahlen konzipiert und mit fortschrittlichen Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Es verfügt über ein modulares Einzelwafer-Design mit einem beheizten Substrat, um die Gleichmäßigkeit zu maximieren, und eine fortschrittliche Gasströmungsausrüstung, um eine präzise Kontrolle von Druck und Durchflussraten zu gewährleisten. CONCEPT ONE verfügt über eine Vakuumkammerkonstruktion mit vier Quadranten und separate Kammern für jeden Prozess zur Minimierung der Kreuzkontamination. Es umfasst auch einen einzigartigen Transportmechanismus mit vier unabhängigen Trägern, was zu verbessertem Waferdurchsatz und Gleichmäßigkeit führt. Darüber hinaus verfügt NOVELLUS CONCEPT One über ein proprietäres Motorsystem und eine Steuerkarte, die eine verbesserte Temperatur- und Druckregelung ermöglicht. Für Ablagerungen unterstützt NOVELLUS CONCEPT ONE eine breite Palette von Substraten und Materialien, darunter sowohl leitfähige als auch nichtleitfähige Filme. Der Reaktor verfügt über einen einstellbaren wassergekühlten Keramikrahmen und ein fortschrittliches optisches Mikroskop, das eine präzise Ausrichtung gewährleistet. Das Gerät umfasst auch eine automatisierte Substrat Oberfläche Inspektionsstationen, um Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Für das Ätzen ist CONCEPT One auf reduzierte Betriebskosten, verbesserte Erträge und überlegene Wafer-Gleichmäßigkeit ausgelegt. Der Reaktor weist eine neue induktiv gekoppelte Plasmaquelle auf, die zur Verringerung von Plasmaschäden und zur Verbesserung der Schrittabdeckung ausgelegt ist. Darüber hinaus unterstützt der Reaktor eine Vielzahl von Ätzchemien, einschließlich Nass- und Trockenchemie. CONCEPT ONE ist zudem mit einer fortschrittlichen Prozesssteuerungsmaschine ausgestattet, die einen Einblick in den gesamten Prozess in Echtzeit ermöglicht. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Prozessparameter zu überwachen, Einblicke in Prozessbedingungen zu erhalten und Prozessparameter zu optimieren. Diese Funktion ermöglicht auch schnellere Kalibrierungs- und Prozesseinrichtungszeiten. NOVELLUS CONCEPT One ist ein hochentwickelter, leistungsstarker Einzelwaferreaktor, der für die anspruchsvollsten Anwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über ein neuartiges Design und erweiterte Funktionen, die überlegene Leistung und Einheitlichkeit in Abscheide- und Ätzprozessen ermöglichen. NOVELLUS CONCEPT ONE ist ideal für Halbleiter- und andere fortschrittliche Technologieanwendungen.