Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9144937 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9144937
Wafergröße: 6"
CVD Systems, 6".
NOVELLUS CONCEPT One ist ein Hochgeschwindigkeits-, Hochleistungs-Ätz- und Abscheidungsreaktor, der für den Einsatz im fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozess entwickelt wurde. Es verwendet modernste Technologie, um kostengünstige, hochwertige Folienabscheidung und -ätzung in einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Germanium, Kupfer, Aluminium und einigen anderen Materialien zu liefern. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor hat ein einzigartiges Design, das eine große Fläche der einzelnen Waferbearbeitung bei hoher Geschwindigkeit unter Beibehaltung einer kleinen Stellfläche bietet. Dies ermöglicht die effizienteste Raumnutzung im Werk. CONCEPT One verfügt über eine fortschrittliche Temperaturregeleinrichtung, die einen selbstjustierenden Temperaturregler und Gleichstrom (DC) -Vorspannung umfasst. Dieses fortschrittliche Temperaturregelsystem reduziert die Instabilität der Kammer bei unterschiedlichen Belastungen und verringert somit die Möglichkeit von thermischen Schäden. KONZEPT EIN Reaktor zeigt auch eine, Hochleistungshopräzisionsflusskontrolleinheit, um genaue Filmabsetzungsraten zu sichern. Diese Maschine ermöglicht die gleichmäßigste und reaktive Abscheidung von Folien an der Waferoberfläche. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über einen Hochleistungs-Plasmagenerator. Dieser Generator soll hohe Konzentrationen reaktiver Spezies an die Waferoberfläche liefern, die dünne Filme effektiv ätzen. NOVELLUS CONCEPT Ein Reaktor beinhaltet auch eine Ladeschloßkammer und ein Be-/Entlademanagement-Tool. Dies vereinfacht das Be- und Entladen von Wafern in und aus dem Modell, was zu einer erhöhten Produktivität und Sicherheit in der Werksumgebung führt. Degaussing, Gaseinspritzleitungen und Sicherheitskontrollen sind auch für die Bedienersicherheit enthalten. Schließlich kommt der Reaktor mit einer leistungsstarken Software-Benutzeroberfläche, die die Ausrüstung einfach zu bedienen und zu programmieren macht. Dies ermöglicht Funktionen wie Echtzeitüberwachung und Diagnose, Rezepte, Fernbedienung und -steuerung sowie Datenprotokollierung. Die Benutzeroberfläche unterstützt auch mehrstufige Einrichtung und Anpassung des Systems für maximale Benutzerfreundlichkeit. Insgesamt ist NOVELLUS CONCEPT ONE ein leistungsstarker und zuverlässiger Reaktor, der für hochwertiges, hochpräzises Ätzen und Abscheiden in einer Vielzahl von Materialien ausgelegt ist. Die fortschrittliche Temperatursteuereinheit, die präzise Durchflusssteuerung und der Hochleistungs-Plasmagenerator machen ihn zur idealen Wahl für moderne Halbleiterherstellungsprozesse.
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