Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9148238 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT Ein Reaktor ist ein revolutionäres neues Gerät zur Verbesserung der Halbleiterproduktion. Es ist ein physikalischer PVD-Reaktor, der eine erhöhte Kontrolle und eine deutlich höhere Prozessgenauigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Systemen bietet. Die Mehrkammerkonstruktion des Reaktors besteht aus einem Kammerhauptkörper, einem rotierenden Substratheizer und einem beheizten Deckel, der während der gesamten Reaktion konstante Temperaturen gewährleistet. Der Hauptkörper des NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktors verfügt über ein integriertes Wafer-Handling-System, bestehend aus einer Schlitzplatte und einem Lader/Entlader, um ein schnelles und genaues Be- und Entladen der Wafer zu gewährleisten. Es ermöglicht auch die Positionskontrolle der Platte, um einen exakten Abscheidevorgang zu gewährleisten. Der Rotationssubstratheizer ist so ausgelegt, dass der thermische Schock auf die Wafer begrenzt wird, was zu einer höheren Prozesswiederholbarkeit und einer besseren Kontrolle des Abscheideprozesses führt. Der beheizte Deckel bietet vier unabhängige Temperaturzonen über die thermische Länge der Kammer. Mit diesem Merkmal kann jede Zone unabhängig voneinander für Prozessflexibilität und die Fähigkeit, die Erwärmung der Wafer genau zu steuern betrieben werden. Der beheizte Deckel reduziert auch die thermische Masse des Kammerinneren erheblich, was zu einem schnellen und gleichmäßigen Temperaturanstieg führt. CONCEPT One Reaktor ist entworfen, um direkte Temperaturmessung und Kontrolle der Platte und Substrat zugehörigen Temperaturen zur Verfügung zu stellen. Dies hilft, einen genaueren und wiederholbaren Abscheidungsprozess zu gewährleisten. Dieses erweiterte Steuersystem ermöglicht auch eine breite Palette von Steuerparametern wie Kammerdruck, Sputterstrom, HF-Leistung und HF-Anpassung. Dies gewährleistet eine hohe Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. CONCEPT ONE Reaktor ist ein extrem fortschrittliches PVD-System, das eine beispiellose Prozesskontrolle und Genauigkeit bietet. Mit seinem Mehrkammerdesign, unabhängigen Temperaturzonen, direkter Temperaturmessung und einer Vielzahl von Regelparametern ist der NOVELLUS CONCEPT One Reaktor ein Kinderspiel für alle, die die Effizienz ihrer Produktionslinie deutlich steigern möchten.