Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9148330 zu verkaufen
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NOVELLUS CONCEPT One ist ein fortschrittlicher Ätzreaktor, der von NOVELLUS Systems, Inc. Es verfügt über ein patentiertes Jet Immersion-Verfahren, mit dem der Gasfluss in einer Reaktionskammer präzise gesteuert und Strukturen auf Substraten schnell geätzt werden. NOVELLUS CONCEPT ONE entfällt die Notwendigkeit herkömmlicher Ätzzünder, wodurch Ätzzeiten bis zu 60% reduziert werden können. CONCEPT One verfügt über eine vakuumdichte Kammer mit mehreren Gaseingängen und Abgaskrümmern. Die Kammer ist mit einem Ätzgaseinlass und einem Gasdiffusionssystem ausgestattet, das das Ätzgas in einer effizienten, gleichmäßigen und gleichmäßigen Strömung dispergiert. Das Ätzgas wird dann in einer Zyklondecke eingeschlossen, wodurch ein sehr gleichmäßiges, gleichmäßiges Ätzen des Substrats ermöglicht wird. CONCEPT ONE ist ein kostengünstiger Ätzreaktor mit wirtschaftlicher Wirtschaftlichkeit und einer Vielzahl von Ätzprozessen. Es ist mit einem SPS-Regler ausgestattet, um eine präzise Steuerung des Ätzprozesses wie Gasdurchfluss, Temperatur, Druck und Gesamtbetriebsbedingungen zu ermöglichen. Dies ermöglicht optimale Prozessausbeuten und überlegene Ätzqualität. Der Strahleintauchvorgang sorgt dafür, dass der zu ätzende Ätzbereich vollständig mit Ätzgas bedeckt ist und die eingesetzte Gasmenge dicht gesteuert werden kann. Der Prozess findet in einer Niederdruckumgebung statt und die Ätzzeiten können bis zu 60% reduziert werden. NOVELLUS CONCEPT One verfügt auch über fortschrittliche dielektrische Ätzprozesse. Diese Verfahren verfügen über Mehrgasplasmen und ein dynamisches Hochleistungsmagnetfeld, das eine optimale Ätzqualität ermöglicht. Das einstellbare HF-Plasma ermöglicht auch eine größere Prozesssteuerung, wodurch der Bedarf an kontinuierlichen Modifikationen reduziert wird. Das Concept 1 bietet auch eine Dual-Source-Plasma-Option. Diese Funktion ermöglicht dynamische Prozesse, die robuster sind und qualitativ hochwertigere Ätzungen liefern. Das Dual-Source-Plasma reduziert zudem den Bedarf an einer Nachladung der Plasmakammer und erhöht die Ätzproduktivität. NOVELLUS CONCEPT ONE ist ein idealer Ätzreaktor, der schnelle Reaktionszeiten, zuverlässige Prozesse und einen kostengünstigen Betrieb bietet. Es eignet sich für eine breite Palette von industriellen Anwendungen, bietet Präzisionsätzen von Substraten, mit optimalen Prozessausbeuten und überlegener Ätzqualität. CONCEPT One ist ein leistungsfähiger und wirtschaftlicher Ätzreaktor und für die Herstellung wichtiger Komponenten und Geräte in fast allen Branchen unerlässlich.
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