Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9149818 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9149818
Wafergröße: 6"
PECVD System, 6".
NOVELLUS CONCEPT One Reaktor ist ein Fertigungswerkzeug der nächsten Generation, das durch innovatives Design überlegene Leistung und Anlagenflexibilität bietet. Im Kern ist der NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor ein CVD-System (High-Temperature Chemical Vapor Deposition), das durch Funktionen wie schnelle Substratkühlung, überlegene Temperatur- und Prozesssteuerung, schnellen Substrataustausch und kurze thermische Zyklen hervorragende Leistung liefert. Der Reaktor wurde entwickelt, um die Prozessflexibilität und -fähigkeit durch Funktionen wie mehrere Prozesskopfwerkzeuge und mehrere Prozesskammern zu maximieren, wodurch bis zu vier verschiedene Prozessrezepte gleichzeitig verarbeitet werden können. Das Gerät ist kompatibel mit einer Vielzahl von Materialien und Substraten, einschließlich Standard-Silizium, Galliumarsenid, Nitrid und mehr. Die Maschine ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Prozessparametern für jedes der Materialien zu handhaben. Das Temperierwerkzeug eines CONCEPT One Reaktors sorgt dafür, dass jeder Prozessschritt bei optimaler Temperatur ausgeführt wird. Die Temperaturregelung überwacht die Temperatur des Substrats während des Zyklus und verwendet fortschrittliche Algorithmen, um die Temperatur für jeden Prozess zu optimieren. Darüber hinaus ermöglicht der große Temperaturbereich der Anlage eine Vielzahl von Abscheideprozessen. Das Modell verfügt zudem über eine schnelle Substratbeladung/-kühlung, die eine schnelle Generierung überlegener Ergebnisse bei noch schnelleren Umlaufzeiten ermöglicht. Das System verfügt über einen schnellen Substratbeladungs-/Kühlmechanismus, der schnelle Substratwechselzeiten von bis zu 60 Sekunden ermöglicht. Dies hilft, die Gleichmäßigkeit der Abscheidung zu kontrollieren und die Partikelakkumulation zu minimieren. CONCEPT ONE ist eine fortschrittliche Einheit, die auf einem Mehrkammerdesign und einer intuitiven Benutzeroberfläche basiert. Diese Maschine ist in der Lage, Zuverlässigkeit, Flexibilität und gleichmäßige Ergebnisse zu liefern. Das Tool wurde entwickelt, um hohe Durchsatzraten zu erreichen und Ausfallzeiten zu minimieren, was eine überlegene Leistung mit der Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit bietet, die von den anspruchsvollsten Prozessen gefordert wird.
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