Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9169829 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One Reactor ist eine hochmoderne, proprietäre Waferbearbeitungstechnologie, die speziell für Anwendungen mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Dieser dielektrische Ätzreaktor ist für maximale Ätzraten, verbesserte dielektrische Selektivität und maximale Ätzgleichmäßigkeit ausgelegt. Die primären Anwendungen von NOVELLUS CONCEPT ONE umfassen Ätzfunktionen mit hohem Seitenverhältnis, einschließlich Torgräben, flachen Gräben und Kontaktlöchern. Der Reaktor verfügt über eine unübertroffene Leistung aufgrund seiner fortschrittlichen Verarbeitungstechnologien, seines Designs mit hohem Durchsatz und seiner verbesserten thermischen Gleichmäßigkeit. Es verfügt auch über ein dreidimensionales Schilddesign, angepasst an ein hohes Seitenverhältnis-System, was zu einer verbesserten Produktqualität führt. Die spezialisierte Verarbeitungskammer verfügt über eine beispiellose Kombination von Technologien, die eine präzise Ätzkontrolle, hohe Erträge und eine verbesserte dielektrische Gleichmäßigkeit ermöglichen. Sie weist ferner eine direkte Einspritzquelle mit präziser Gasströmungssteuerung auf, so dass die Kammer an einer beliebigen Stelle innerhalb der Kammer für eine präzise Strömung programmiert werden kann. Diese Funktion maximiert die Gleichmäßigkeit, ermöglicht Prozessflexibilität und präzises Ätzen mit hohem Seitenverhältnis. Das hohe Seitenverhältnis von CONCEPT One ermöglicht das Ätzen von Gräben und Kontaktlöchern, die manchmal bis zu 150:1 Seitenverhältnis betragen können. Dies erfordert sowohl höhere Leistung als auch höhere Ätzraten als herkömmliche Ätztechniken. Um dies zu berücksichtigen, verwendet CONCEPT ONE eine einfrequente Mikrowellenquelle und ionengestützte Ätztechniken, um eine präzise Ätzgleichmäßigkeit und Winkelsteuerung zu gewährleisten. NOVELLUS CONCEPT One verfügt über eine eingebaute Automatisierung, die an Serienreichtum hält. Die reaktive Strömungssteuerung und andere Prozessparameter wurden optimiert, um wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten und eine hohe Ausbeute zu gewährleisten. Die robotergesteuerte Ausrüstung ermöglicht eine schnelle und präzise Prozesssteuerung, die die Produktionseffizienz und Zuverlässigkeit weiter steigert. Abschließend ist NOVELLUS CONCEPT ONE ein branchenführendes Waferbearbeitungssystem mit überlegenen Ätzraten, Selektivität und Einheitlichkeit. Sein dielektrischer Ätzreaktor, automatisierte Steuerungen und integrierte Einfrequenz-Mikrowellenquelle bieten hohe Seitenverhältnisse, was eine verbesserte Produktqualität und einen erhöhten Produktionsdurchsatz ermöglicht.