Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9193243 zu verkaufen
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NOVELLUS CONCEPT One ist ein fortschrittlicher Reaktor auf Plasmabasis, der eine hochpräzise Verarbeitung für die Halbleiterindustrie ermöglicht. Der Reaktor nutzt eine einzigartige Kombination aus magnetisch begrenztem Argonplasma und Freielektronenlaseroptik, um ein hocheffizientes und kostengünstiges Herstellungsverfahren für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu schaffen. Dieser hochmoderne Reaktor wurde von NOVELLUS Systems, Inc., einem führenden Anbieter von Hightech-Lösungen für die Halbleiterherstellung, entwickelt. Die Plasma Reaction Chamber (PRC) ist das Herzstück des NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktors. Diese Kammer besteht aus mehreren Komponenten einschließlich des optischen Fensters, des Leistungsfensters und der Kammerwände. Die VR China verwendet eine einzigartige Kombination aus Argonplasma und freier Elektronenlaseroptik, um eine Präzisionssteuerung zu gewährleisten und eine wiederholbare Genauigkeit während der Verarbeitung zu gewährleisten. Das Argonplasma wird durch das Magnetfeld gehalten, das von dem Magneten außerhalb der Kammer erzeugt wird. Wenn das Plasma mit Energie versorgt wird, wirkt es als Gasmodussputterquelle entweder reaktiver Spezies oder Neutraler, die eine größere Kontrolle und Prozessflexibilität ermöglichen. Das Optikpaket erzeugt eine diffraktiv lokalisierte Energiespektralform zur Erhöhung der Prozessselektivität außerhalb der Achse und der Mittelachse. CONCEPT One verfügt auch über eine fortschrittliche Hochleistungs-HF-Antriebsausrüstung, um eine optimale Plasmakontrolle zu gewährleisten. Dieses Antriebssystem entspricht genau der Plasmafrequenz und erzeugt großflächige gepulste Magnetfelder, um Lichtbogen zu vermeiden und eine gewünschte Plasmaform zu erzeugen. Die fortschrittliche Steuereinheit in diesem Reaktor sorgt für einen zuverlässigen und wiederholbaren Prozess mit Präzisionssteuerung. Die Maschine ist darauf ausgelegt, parametrische Veränderungen wie unterschiedliche Hintergründe oder Verschmutzungen von Bauteilen auszugleichen. CONCEPT ONE ist kompatibel mit Industriestandard-Materialien und -Konfigurationen für die Halbleiterverarbeitung. Mit seiner einzigartigen Kombination aus HF-Antriebssystemen, Optik und Plasmaproduktion kann dieser Reaktor eine Vielzahl von Substraten und Halbleitermaterialien mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Präzision handhaben. Das Design von NOVELLUS CONCEPT One wurde für die Hochleistungsproduktion von Halbleiterbauelementen höchster Qualität, Schneidzykluszeiten und -kosten für die Hersteller optimiert.
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