Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9194261 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
NOVELLUS CONCEPT One ist ein revolutionärer neuer Typ von Präzisionsbearbeitungsreaktor, der weithin als das modernste und vielseitigste Werkzeug für die Herstellung, Abscheidung und Ätzung von Halbleiterscheiben gilt. Dieser Reaktor wird in den heutigen fortschrittlichsten Halbleiterherstellungsprozessen weit verbreitet und ist in der Lage, eine Vielzahl von Metallen, Oxiden, Nitriden und anderen Materialien auf mikroskopische Halbleiterscheiben abzuscheiden. NOVELLUS CONCEPT ONE wird durch eine Multi-Prozess, Multi-Substrat-Abscheidung Ausrüstung angetrieben, die mehrere Prozessfähigkeit in dem gleichen Werkzeug erleichtert. Dieser Präzisionsabscheidungsprozess basiert auf der Verwendung eines in-situ, SpectraLIVE™ laserbasierten Detektionssystems, das konsistente Wafer-zu-Wafer- und Set-to-Set-Prozessdaten ermöglicht. Diese Einheit ermöglicht auch eine hohe Präzision im Abscheideprozess und ermöglicht eine engmaschige Prozesskontrolle sowohl mit organischen als auch mit anorganischen Methoden. Im Zentrum von CONCEPT One steht eine neuartige Magnetron-Sputterquelle, die höchste Präzision im Abscheidungsprozess bietet. Diese Quelle kann auf die Abscheidung von Materialien wie Kupfer, Titan/Wolfram und Nickel-Phosphor abgestimmt werden. Darüber hinaus ist diese Quelle auch in der Lage, Nitrid-Oxid-Materialien wie Aluminiumnitrid und Aluminiumoxid genau abzuscheiden. Die Magnetronquelle ermöglicht ein ultrafeines Ätzen von Materialmustern auf die Substrate, wodurch Submikronstrukturen erzeugt werden können. Diese fortschrittliche Maschine verwendet auch fortschrittliche Plasmasteuerung mit seinem beliebten Rapid Thermal Processing (RTP) -Werkzeug. Diese Anlage kann die Prozesszeiten im Vergleich zu herkömmlichen Methoden um fast 75% verkürzen. RTP ermöglicht gleichmäßiges Erwärmen über das Substrat sowie schnelles Glühen von Wafern. Dies führt zu einer verbesserten Schrittabdeckung und einem schnelleren Verarbeitungsdurchsatz. Der CONCEPT ONE Reaktor ist ein leistungsstarkes Werkzeug für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse und eignet sich hervorragend für die Herstellung von klein- und hochdichten mikroelektronischen Geräten. Die Kombination aus Magnetronsputterquelle und RTP-Modell sorgt für eine extrem präzise Abscheidung von Materialien, die zu einer verbesserten Leistung und Zuverlässigkeit führen. Dieser revolutionäre Reaktor ist das perfekte Werkzeug für jeden fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozess und wird dazu beitragen, die Industrie auf das nächste Level zu bringen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor