Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9226320 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9226320
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
CVD System, 6" 1996 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One ist ein Reaktor, der zum Abscheiden und Ätzen von Substraten wie Metallen und Dielektrika verwendet wird. Es ist mit mehreren erweiterten Funktionen wie Hochfrequenz-kapazitiv gekoppelten Plasmen (HFCP) und modularen Wafer-Level-Prozessmodulen ausgestattet. Der Reaktor vereint Produktivität mit hohem Durchsatz, niedrige Betriebskosten und einen geringen Platzbedarf und ist damit die perfekte Wahl für Forschungs- und Produktionsanwendungen. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er eine hervorragende Kombination aus hohem Durchsatz, präziser Kontrolle der Abscheidungsumgebung und präzisen Prozessrezepten liefert. Eine HFCP-Quelle bietet erhöhte Ionendichten und eine größere Tiefe von Ätzkomponenten, was zu einer verbesserten Prozessgenauigkeit und -geschwindigkeit führt. Die HFCP-Quelle bietet auch die Möglichkeit, Prozessparameter an bestimmte Bedürfnisse anzupassen. Mit NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktoren präzise Leistungssteuerung, präzise Steuerung der Reaktantenversorgung und präzise Steuerung der Abscheidungsumgebung ist der Anwender in der Lage, konsistente und gleichmäßige Abscheidung von Dünnschichtmaterialien mit hohem Seitenverhältnis zu erzeugen. Der Reaktor ist zudem mit einem modularen Wafer-Level-Prozessmodul ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung und Flexibilität für Wafer-Level-Operationen wie Messtechnik, Bildgebung, Sprühbeschichtung und Abscheidung. Der Reaktor ist auch kompatibel mit mehreren Zubehörteilen, wie Process Veinless Systems, Vakuumübertragungsmodulen, Gasfördersystemen und variablen Winkelspulenquellen. Ein wichtiges Merkmal des Reaktors ist seine schnelle Werkzeugeinrichtung und kurze Zykluszeiten, die maximale Produktivität ermöglichen. Darüber hinaus ist es einfach zu bedienen und bietet große Flexibilität bei der Entwicklung neuer Prozesse. CONCEPT One Reaktor bietet eine hervorragende Kombination aus Präzision, Leistung und Wirtschaftlichkeit und ist damit ideal für eine Vielzahl von Forschungs- und Produktionsanwendungen. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und Flexibilität ist der Reaktor ein ideales Werkzeug für die Erstellung und Implementierung einer zuverlässigen, reproduzierbaren und kostengünstigen Verarbeitung und Abscheidung.
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