Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9226321 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT Ein Reaktor ist ein revolutionäres neues Design in der Halbleiterherstellung Ausrüstung. Es ist ein revolutionäres einstufiges CVD-Werkzeug (Chemical Vapor Deposition), das die Leistung einer Nassätzkammer, einer Abscheidekammer und einer Substratheizung in einer einzigen kompakten Ausrüstung kombiniert. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor ist entworfen, um überlegene Prozesstemperatur Gleichmäßigkeit und ein hohes Maß an Prozesskontrolle zu bieten. CONCEPT One Reaktor verwendet eine Drehkammerplattform, angetrieben durch einen Motor, um das Substrat gleichmäßig mit einer reflektierenden Flüssigkeit zu beschichten, die aus dem Abscheidungsquellenmaterial destilliert wird. Das warme Substrat wird dann mit einem hocheffizienten gasgebrannten Graphitheizer schnell und präzise erwärmt, bevor das Substrat in die Abscheidekammer gelangt. Innerhalb dieser Kammer wird dann das Material auf das Substrat abgeschieden, wobei Temperatur und Gasströme genau gesteuert und überwacht werden. Zur Prozessoptimierung werden auch Hochgeschwindigkeitsverriegelungen und Plasmadosierung in den Rotationszyklus eingebaut. Der CONCEPT ONE Reaktor verfügt zudem über ein fortschrittliches X-Y Scan-System, das für maximale Prozessgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit optimiert wurde. Mit dieser Einheit kann die Kammerplattform genau programmiert werden, um in jede Richtung zu scannen, und der Bediener kann den Prozess schnell und bequem steuern. Die Plattform kann auch verwendet werden, um die Substrat- und Prozesstemperaturen während der Abscheidung zu verfolgen, so dass der Prozess überwacht und fliegend eingestellt werden kann. NOVELLUS CONCEPT One Reaktor ist entworfen, um überlegene Temperatur Gleichmäßigkeit und Prozessstabilität zu bieten, während der Bediener mehr Flexibilität und Kontrolle ermöglicht. Es ist ideal für die Halbleiterherstellung, da es die meisten Abscheidungsprozesse verarbeiten kann, einschließlich CVD, ALD und PECVD. Die Konstruktion ermöglicht außerdem eine schnellere und effektivere Reaktorreinigung und -wartung, wodurch Ausfallzeiten minimiert und die Lebensdauer der Maschine verlängert wird. Diesem zuverlässigen und leistungsstarken Design vertrauen viele in der Halbleiterindustrie und sind bei NOVELLUS Systems erhältlich.