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NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9226345
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1989
CVD System, 5" 1989 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One ist ein hochmoderner Ultra-Low-Volume-Reaktor, der eine kostengünstige und effiziente Materialsynthese für Forschungs- und Industriebetriebe ermöglicht. Es bietet einen unkonventionellen Ansatz für konventionelles Reaktordesign und -betrieb, der eine beispiellose Temperatur- und Druckregelung, Skalierbarkeit, Flexibilität und Genauigkeit ermöglicht. Der Reaktor besteht aus zwei Hauptkomponenten; eine Hauptreaktionskammer und ein Sekundärgefäß. Die Reaktionskammer beherbergt den Reaktionsprozess unter Kombination mehrerer Reaktanden bei hoher Temperatur und Druck, um ein gewünschtes Material zu synthetisieren. Das Sekundärgefäß dient zur Einstellung und Optimierung der Reaktionsparameter, einschließlich Temperatur und Druck, Gasstrom und Reaktantenkonzentrationen. Die beiden Komponenten sind über eine Reihe von Temperatur- und Drucksensoren miteinander verbunden und bieten präzise Steuerungs- und Überwachungseinrichtungen. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktorsystem ist hochautomatisiert, so dass es benutzerfreundlich und effizient in Bezug auf den Betrieb. Alle Reaktanden werden vorgemessen und vom Verfahrenstechniker in die Kammer geladen. Der Sekundärbehälter weist eine Reihe von Gaseinspritzventilen und Druckregelventilen auf, die eine präzise Prozesssteuerung und -optimierung ermöglichen. Der Reaktor kann bei Temperaturen von -196 ° C bis 400 ° C mit einem Druckbereich bis 300 psi betrieben werden, wodurch verschiedenste synthetische Prozesse durchgeführt werden können. Der Reaktor ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgelegt. Es enthält aktive Drucksensoren, die in alle Gefäße eingebettet sind und Echtzeitdaten zu Prozessbedingungen liefern. Es enthält auch eine Reihe von ausfallsicheren Systemen, um das System im Notfall herunterzufahren. Zur Messung der Reaktionstemperaturen werden eine Reihe von Thermometern und anderen Sensoren verwendet, um sicherzustellen, dass die Reaktion bei der gewünschten Temperatur und dem gewünschten Druck durchgeführt wird. CONCEPT One Reaktor bietet beispiellose Prozessflexibilität und -genauigkeit und ist damit ideal für eine Reihe unterschiedlicher Reaktionen. Dank seiner kompakten Bauweise eignet es sich sowohl für Anwendungen im Labormaßstab als auch im industriellen Maßstab, während seine Temperatur- und Druckregelungsfunktionen eine Vielzahl von synthetischen Prozessen ermöglichen. Durch die Bereitstellung einer zuverlässigen Plattform für die Synthese einer Vielzahl von Materialien wird der Reaktor CONCEPT ONE den Bereich der Materialsynthese revolutionieren.
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