Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9243883 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One ist ein leistungsstarker Einzelwaferreaktor, der durch innovative Technologie und Design angetrieben wird. Der Reaktor ermöglicht eine überlegene Prozessflexibilität, schnellere Zykluszeiten und eine verbesserte Ausnutzung teuren Fab-Raumes. Der Reaktor besteht aus einer einstückigen stationären Kammer und einer sechsachsigen Bewegungsplattform mit einer maximalen Reichweite von 10 Zoll. Die Kammer ist so gebaut und ausgelegt, dass keine Gefahr von Partikelverunreinigungen besteht und ist mit einer elektrostatischen geerdeten PEEK-Wand aufgebaut. Der Reaktor verfügt über eine Fläche von 6,5 "gepumpten und isolierten Pumpzone, mit integrierter aktiver Belüftung. Um überlegene Prozessflexibilität zu bieten, ist NOVELLUS CONCEPT ONE mit einem Hochgeschwindigkeits-Werkzeugwechsel ausgestattet. Es kann mit verschiedenen Konfigurationen wie Single-Wafer und Dual-Wafer-Verarbeitung ausgetauscht werden. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur wird durch wassergekühlte Platten aufrechterhalten, die auch eine geringe thermische Massenumgebung gewährleisten. CONCEPT One ist in der Lage, bis zu 1000 Rezepte und alle mit variabler Geschwindigkeit und Genauigkeit auszuführen. CONCEPT ONE wird von einer mehrachsigen Bewegungsplattform angetrieben und verfügt über robuste, präzise und zuverlässige Steuerungen. Sein starkes Bewegungsgefolge schließt 10-Achsen-Hochleistungsbewegungsmodelle, zusammen mit dem niedrigen - und hohe Kraft Trägheitsachsenkonfigurationen ein. Jede Achse kann bis zu 200 mm/s Lineargeschwindigkeit und 150 ° C/Sekunde Rotation liefern. Dadurch kann das Gerät mehrere Operationen gleichzeitig durchführen, was die Zykluszeiten erheblich reduziert und die Produktivität erhöht. Um die Nutzung des teuren FAB-Raumes zu maximieren, ist NOVELLUS CONCEPT One als integriertes, geschlossenes System mit allen enthaltenen und an einer Stelle angeschlossenen Komponenten konzipiert. Das Steuergerät wurde entwickelt, um höchste Präzision, Genauigkeit und Automatisierung zu gewährleisten. NOVELLUS CONCEPT ONE ist die ideale Maschine für leistungsstarke, flexible und zuverlässige Prozesse. Es bietet überlegene Prozessflexibilität, schnellere Zykluszeiten und eine verbesserte Ausnutzung teurer FAB-Flächen bei gleichmäßiger Temperatur und überlegener Leistung.