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NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9266473
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1992
PECVD System, 8" SIO2 / TEOS 1992 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One ist eine Art Abscheidungsreaktor, der in der chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet wird, um dünne Filmschichten auf Substratmaterialien zu bilden. Es ist mit fortschrittlicher Technologie entworfen, um präzise Schichtkonformität und Gleichmäßigkeit auf großen Flächen zu ermöglichen. Der Reaktor nutzt eine Kombination aus hochenergetischen Elektronenbursts, niederenergetischen Photonen und einer präzisen Temperatur- und Druckkontrolle, um die Freisetzung und Bewegung sowohl fester als auch flüssiger Phasen verschiedener Chemikalien in CVD-Prozessen zu steuern. Der Reaktor ermöglicht eine präzise Temperatur- und Druckregelung durch Verwendung einer fein abgestimmten Mischkammer. Die Mischkammer umfasst einen zylindrischen Vakuumbehälter, der von einer präzisen Gaseinlaßeinrichtung, Vakuumpumpen und Temperatur/Druck-Sensoren/Steuerungen umgeben ist. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung von Reaktandengasgemischen. Ein Gaseinlaßsystem in der Nähe der Basis des Reaktors ermöglicht eine präzise Abgabe von Gasen in die Mischkammer. Darüber hinaus nutzt NOVELLUS CONCEPT ONE mehrere fortschrittliche Komponenten, um schnelle Energieprobleme präzise steuern zu können. Dazu gehört eine Elektronenstrahlpistole, die hochenergetische Elektronenbrüche erzeugt, die Reaktantenmoleküle auseinander brechen, bevor sie in die Kammer gelangen. Es enthält auch eine Leuchtdiode (LED) -Einheit, die energiereiche Photonen erzeugt, die die Reaktion von Reaktantenmolekülen fördern, ohne die Substrate zu schädigen. Im Betrieb wird CONCEPT One gestartet, indem zunächst die mit den notwendigen Reaktantgasen und Substrat vorbereitet wird. Dann erzeugt die Elektronenstrahlkanone einen fokussierten Strahl, der die Reaktantenmoleküle auseinander bricht, bevor sie in die Mischkammer gelangen. Die LED-Maschine erzeugt energiereiche Photonen, die die Reaktion der Reaktantenmoleküle schnell fördern. Schließlich ermöglichen die genaue Temperatur- und Druckregelung der Mischkammer eine gleichmäßige Verteilung der Reaktantenmoleküle über das Substrat. CONCEPT ONE Abscheidungsreaktor hat zahlreiche Vorteile gegenüber anderen CVD-Reaktoren. Seine präzise Temperaturregelung gewährleistet eine gleichmäßige Schichtkonformität und Gleichmäßigkeit über große Flächen, ohne das Reaktandengasgemisch zu beeinträchtigen. Die Elektronenstrahlkanone und das LED-Werkzeug reduzieren die Zeitverschwendung erheblich und ermöglichen eine schnelle und effiziente Abscheidung, ohne die chemischen Eigenschaften des Substratmaterials zu beeinträchtigen. Schließlich bietet seine Gaseinlassanlage eine präzise Steuerung von Gasen und sorgt für dichte und gleichmäßige Schichten.
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