Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9268771 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9268771
Wafergröße: 6"
CVD Systems, 6".
NOVELLUS CONCEPT One ist ein fortschrittliches Werkzeug zur Bearbeitung von Halbleiterscheiben. Es ist für hochproduktive dielektrische Ätz- und Abscheidungsanwendungen in der Halbleiterindustrie konzipiert. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor ist die perfekte Kombination aus Leistung, Flexibilität und Kosten. Es bietet eine zuverlässige, kostengünstige Produktion zertifizierter und voll konformer 300mm-Wafer-Lösungen. CONCEPT One Reaktor ist eine Einwafer-Prozesskammer aus thermisch und elektrisch leitendem Edelstahl. Es ist mit Präzisionsgassteuerung und gleichmäßiger Plasmaerzeugung ausgestattet. Es ist für eine extrem gleichmäßige Selbstjustierung über die gesamte Waferoberfläche ausgelegt, so dass der Prozess unabhängig von der Anzahl der Matrizen oder über den Wafer auf dem Ziel bleiben kann. Die Prozesskammer bietet auch eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und Kontrolle von Verunreinigungen, einschließlich Metallen und Partikeln. Der Reaktor verfügt auch über Dynamic Gas Control, die es ermöglicht, Durchflüsse und Temperaturen unabhängig anzupassen, so dass optimale Prozessbedingungen jedes Mal. Dies bietet eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit, Dosiskonformität und Zykluszeitreduzierung. CONCEPT ONE Reaktor verfügt auch über automatische Thermo- und Druckregelung (ATPC), um sicherzustellen, dass die Kammer immer die richtigen Prozessebenen für die bestmöglichen Ergebnisse beibehält. Es bietet auch ein Echtzeit-Überwachungs- und Prozessleitsystem (PMC), das eine bessere Analyse von Leistungstrends und Prozessoptimierung ermöglicht. Der Reaktor verfügt über verschiedene Prozessrezepte und Werkzeuge für unterschiedliche Anforderungen in der Halbleiterindustrie. Es ist auch kompatibel mit einer Reihe von branchenüblichen Ausrüstungen und Konfigurationen, einschließlich Plattformautomatisierung, Wafer-Transfer und Be-/Entladesysteme, Vakuumpumpen, Gasfördersysteme und Sicherheitssysteme. Insgesamt ist NOVELLUS CONCEPT One Reaktor ein hochmodernes Werkzeug zur effizienten Bearbeitung von Halbleiterscheiben. Es bietet zuverlässige und kostengünstige Leistung mit präziser Prozesssteuerung. Darüber hinaus bieten seine Prozessrezepte und Automatisierungsfunktionen ein hohes Maß an Flexibilität und machen es für viele verschiedene Anwendungen geeignet.
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