Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9268776 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One ist ein einzigartiger und innovativer Reaktor in der Halbleiterindustrie für Ätz- und Abscheidungsanwendungen. NOVELLUS CONCEPT ONE verwendet ein Hochfrequenzplasma, das von einer HF-Quelle erstellt wird, und eine induktive Kopplungsspule mit einem innovativen Auslesedesign, um ein gleichmäßiges und präzises Ätzen und Abscheiden von Materialien zu schaffen. Diese erweiterte Funktionalität ermöglicht effizientere Ätz-, Abscheide- und Reinigungsprozesse sowie höhere Erträge und zuverlässigere Produkte. CONCEPT One verwendet zwei induktiv gekoppelte getrennte Spulen, die über eine Rückkopplungsschleife miteinander verbunden sind. Dies liefert hohe Qualität, gleichmäßige und wiederholbare Ätz- und Abscheideraten, was zu höheren Ausbeuten und geringeren Prozessausbeuten führt. Die hohe Abscheiderate sorgt für eine gleichmäßige und hervorragende Qualität der Ätz- und Abscheidungsschichten. Die beiden Induktionsspulen weisen jeweils eine separate Cathode Interface Unit (CIU) auf. Dies ermöglicht die Flexibilität bei der Einstellung jeder Induktionsspuleneinstellung unabhängig voneinander, was zu abstimmbaren Ätz- und Abscheideraten führt. Zusätzlich können die OGAs auf giveuserdefinierte Einstellungen für den Ätzprozess programmiert werden, wodurch Präzision und Wiederholbarkeit gewährleistet sind. Eine andere einzigartige Eigenschaft des KONZEPTS MAN ist seine patentierte niedrige Temperatur, lässt Plasmaproduktionsausrüstung fallen. Herkömmliche Systeme neigen zu einem Hochtemperaturabfall während ihrer Abscheidungsprozesse, was zu Ätzgleichmäßigkeitsproblemen führt, die die Ausbeuten erheblich reduzieren können. NOVELLUS CONCEPT Man nutzt einen Tieftemperatur-Fallmechanismus, der Temperaturabfälle drastisch reduziert und so den Durchsatz und die Erträge verbessert. Neben den verbesserten Prozessen reduziert NOVELLUS CONCEPT ONE auch die Wartungszeit für die Halbleiterherstellung erheblich. Das System ist zur Selbstüberwachung verdrahtet, wodurch es praktisch wartungsfrei ist. Fortschrittliche Wartungssoftware ermöglicht es Ingenieuren, Diagnosen durchzuführen, ohne den Betriebsbereich des Geräts betreten zu müssen, was Ausfallzeiten reduziert. Insgesamt ist CONCEPT One ein innovativer Reaktor, der die ultimativen Ätz-, Abscheide- und Reinigungsprozesse ermöglicht, die Erträge und Prozesszeiten maximiert und gleichzeitig die Wartungszeit auf ein Minimum reduziert. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, wie die Niedertemperatur-Plasmaproduktion und benutzerdefinierte Einstellungen, machen diese Maschine zu einer robusten und zuverlässigen Wahl für Halbleiterhersteller.