Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9288077 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT One
ID: 9288077
System.
NOVELLUS CONCEPT One Reaktor ist ein Halbleiterbearbeitungswerkzeug zur Herstellung fortschrittlicher, anspruchsvoller mikroelektronischer Bauelemente. Der Reaktor zeichnet sich durch seine Fähigkeit aus, auch großflächig konstante, wiederholbare Ergebnisse bei der Abscheidung gleichmäßiger Dünnschichtmaterialien zu liefern. Diese Ausrüstung bietet dank einer Reihe innovativer Funktionen, wie der patentierten Dualzonen-Flow-Architektur, eine bisher unerreichbare Präzision und Kontrolle für die Geräteherstellung. Die Dual-Zone-Strömungskonstruktion dient der exakten Definition der Quellmaterial- und Inertgasströmungseigenschaften, was eine stärkere Kontrolle der erzeugten Dünnschichten und der Abscheidegeschwindigkeit ermöglicht. Zur weiteren Verfeinerung des Abscheideprozesses ist NOVELLUS CONCEPT ONE mit einem „Pressure Management System“ ausgestattet, das eine aktiv gesteuerte, ultra-Niederdruckkammer mit integriertem Quellmaterial-Duschkopf nutzt. Diese Funktionen sowie seine Fähigkeit, den Dünnschichtabscheidungsprozess in Echtzeit zu überwachen, zu überwachen, zu steuern und anzupassen, stellen sicher, dass CONCEPT One Materialien mit großer Genauigkeit und Wiederholbarkeit verarbeiten kann. Darüber hinaus ist der CONCEPT ONE Reaktor auf eine breite Palette technischer Anforderungen ausgelegt. Das Gerät ist mit einer Reihe von In-situ-Diagnostika wie Bordspektrometern und einem präzisen optischen Emissionsspektrometer ausgestattet. Diese ermöglichen die In-situ-Rückkopplung von Prozessdaten sowie die Überwachung von Prozessparametern auf verbesserte Dünnschichtabscheidungsqualität. Die In-situ-Diagnosefähigkeiten erstrecken sich auch auf die Entwicklung leistungsorientierter Dünnschichten, da die Diagnostik zur Optimierung der Abscheidungsparameter verschiedener Quellmaterialien eingesetzt werden kann. Dies macht den Prozess effizienter, da die optimierten Parameter in zukünftigen Produktionsläufen ohne zusätzliche Experimente eingesetzt werden können. Schließlich verfügt NOVELLUS CONCEPT One über eine robuste Prozesssteuerungsmaschine, die eine automatisierte Überwachung des Abscheideprozesses ermöglicht. Dies bietet eine sichere, konsistente, wiederholbare und kostengünstige Leistung für die Herstellung der anspruchsvollsten und anspruchsvollsten elektronischen Geräte. Insgesamt ist der NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor eine fortschrittliche, effektive und hochpräzise Lösung für die großflächige Abscheidung von Dünnschichtmaterialien mit überlegener Gleichmäßigkeit und Gleichmäßigkeit.
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