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NOVELLUS CONCEPT One ist ein Hochleistungsreaktor der nächsten Generation, der fortschrittliche Prozessfähigkeiten für die fortschrittliche Halbleiterherstellung bietet. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor wurde entwickelt, um hohe Prozessausbeuten und optimale Produktivität mit niedrigem thermischem Budget, geringer Partikelerzeugung und Gleichmäßigkeit zu bieten. CONCEPT One Reaktor verwendet die neuesten Fortschritte in der Micro-Electro Mechanical Structure (MEMS) -Technologie und verwendet Mesoskala-Schiffe, die halb so groß sind wie herkömmliche Reaktoren, was einen beispiellosen Durchsatz und Präzision ermöglicht. CONCEPT ONE Reaktor ist mit einer integrierten Vakuumquelle und sekundären Verarbeitungskammer für fortgeschrittene Anwendungen ausgestattet, die eine vielseitige Palette von Prozessfähigkeiten ermöglicht. Es ist in der Lage, kleine Chargen und große Wafer mit hoher Durchsatzsteuerung zu handhaben, sowie eine Vielzahl von Abscheidungstechniken wie Elektronenstrahlverdampfung, chemische Dampfabscheidung und Sputterabscheidung bereitzustellen. Um der Nachfrage nach hochpräzisen Dünnschichtbeschichtungen gerecht zu werden, verfügt der NOVELLUS CONCEPT One Reaktor über ein in sich geschlossenes, mehrzoniges Prozessmodul, das die höchste Seitenverhältnisabscheidung ermöglicht. Es ist in der Lage, dünne Filme mit Nanometergenauigkeit abzuscheiden und zu ätzen, und seine Gas- und Stromflusssysteme können leicht konfiguriert werden, um spezifischen Prozessanforderungen gerecht zu werden. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor wurde entwickelt, um eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Präzision in Prozessmessungen zu bieten. Seine erweiterten Messfähigkeiten umfassen den Einsatz einer fortschrittlichen Optik-basierten Überwachungsausrüstung, die Messwerte mit einer Genauigkeit von bis zu 20 Nanometern liefert. Der Reaktor verfügt auch über ein modernes optisches Messsystem und eine integrierte Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) -Einheit, die komplette analytische Fähigkeiten bietet, die für die Prozesssteuerung und -diagnose verwendet werden können. CONCEPT One Reaktor ist auch mit einer integrierten Umweltmanagementmaschine ausgestattet, die einen sicheren und effizienten Betrieb in einer Vielzahl von Umgebungen ermöglicht. Die wärme- und leistungsarme Konstruktion des Reaktors kann so konfiguriert werden, dass sie spezifischen Umweltanforderungen entspricht, und die integrierten Sicherheitsmerkmale bieten ein optimiertes Werkzeug für die Prozesssicherheit. CONCEPT ONE Reaktor ist ein fortschrittlicher Hochleistungsreaktor, der in der Lage ist, beispiellose Prozessfähigkeiten für den Halbleiterherstellungsmarkt bereitzustellen. Dank integrierter Systeme, fortschrittlicher Konstruktionsmerkmale und außergewöhnlicher Analysefähigkeiten ist es das ideale Werkzeug, um optimale Erträge und Produktivität zu erzielen. Mit seiner Spitzentechnologie ist NOVELLUS CONCEPT One Reaktor dazu bestimmt, die Branche zu revolutionieren.
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