Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9300350 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One ist ein Reaktor für Halbleiter- und andere mikroelektronische Fertigungsanwendungen. Es ist eine Abscheidungs- und Ätzproduktlinie, die entwickelt wurde, um unübertroffene Präzision, Produktivität und Flexibilität für anspruchsvolle Prozesse wie Waferdefekt (Oberflächendefekt) Reduktion, Poly-Si-Gate-Formation und Kupfer-Interconnect-Bildung und Isolation zu bieten. NOVELLUS CONCEPT ONE Reaktor ist in drei Zonen unterteilt: eine obere Lade-/Entladekammer, eine Prozesskammer und ein integriertes Frontend. Die obere Lade-/Entladekammer kann vom Rest der Ausrüstung für einfache Wartung, Zugang und Service isoliert werden. Die Prozesskammer umfasst eine hubschrauberförmige Turbopumpe und ein Low-Flow-Trimmventil, so dass mehrere Bearbeitungsschritte ohne Entlüftung abgeschlossen werden können. Das integrierte Frontend verfügt über ein Hochvakuumschieberventil sowie einen In-situ-Abscheidemonitor zur Erzeugung einer kontrollierten Umgebung. CONCEPT One Reaktor enthält proprietäre Technologie namens „CappCycle“, das ist ein fortschrittliches hochfrequentes, hochleistungsdigitalisiertes elektrostatisches Spannfutter (ESC) Antriebssystem. Diese Technologie wird verwendet, um die Gasbelastung zu reduzieren und die Stabilität des Plasmas zu verbessern. Weitere Merkmale sind eine unabhängige He-Versorgung, eine automatische Wafer-Level-Drucksteuerung, digitale Ionenquellen-Oberwellenregelung und eine hochzuverlässige End-of-Cycle-Lockout-Maschine. CONCEPT ONE Reaktor ist entworfen, um überlegene Abscheidung Gleichmäßigkeit und Prozessausbeute über eine breite Palette von Prozessbedingungen zu bieten. Darüber hinaus wurde der Reaktor für ein sehr geringes thermisches Budget konzipiert, was zu minimalen thermischen Schäden und einer verbesserten Prozesskontrolle führt. Darüber hinaus ermöglicht die proprietäre CappCycle-Technologie ein anhaltendes Plasma für erhöhte Prozesswiederholbarkeit und reduzierte Verbrauchskosten. Abschließend ist NOVELLUS CONCEPT One Reaktor ein einzigartiges Abscheide- und Ätzwerkzeug, das branchenführende Präzision, Produktivität und Flexibilität für fortschrittliche mikroelektronische und andere Halbleiteranwendungen bietet. Seine fortschrittlichen Tools und Technologien, wie CappCycle, bieten überlegene Einheitlichkeit, Wiederholbarkeit und thermisches Budget und minimieren gleichzeitig die Kosten.