Gebraucht NOVELLUS CONCEPT One #9377870 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT One Reactor ist ein revolutionäres Werkzeug zur elektronischen Abscheidung von Dünnschichten für die Herstellung integrierter Schaltungen. Es verwendet eine Kombination aus rotierenden, thermischen und chemischen Prozessen, um dünne Filme mit hohen Geschwindigkeiten genau abzuscheiden, was zu erhöhter Produktivität, erhöhter Gleichmäßigkeit und verbesserten Filmeigenschaften führt. Der Reaktor soll eine Dünnschichtabscheidung auf einer Vielzahl von Materialien ermöglichen, einschließlich derjenigen, die für die Halbleiterherstellung und die chemische Dampfabscheidung verwendet werden. Die rotierende Scheibe von NOVELLUS CONCEPT ONE Reactor verfügt über ein zylindrisches, horizontal ausgerichtetes Zentrum mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll. Auf der Drehmitte sind Saphirscheiben montiert, die eine präzise Dünnschichtabscheidung ermöglichen. Der Reaktor enthält eine Wärmequelle, entweder ein Widerstands- oder Induktionssystem, um genaue Temperaturen über den gesamten thermischen Abscheidungsbereich aufrechtzuerhalten. Das thermische System kann entweder trocken oder nass sein und ist mit präziser Heizung oder Kühlung einstellbar. Zusätzlich kann eine sekundäre Wärmequelle verwendet werden, um höhere Gleichmäßigkeit und höhere Abscheideraten zu erreichen. Der Reaktor enthält auch eine chemische Quelle, die eine separate chemische Quelle oder eine Kombi-Quelle sein kann, die sowohl die Wärmequelle als auch die chemische Quelle nutzt. Die chemische Quelle umfasst ein chemisches Abgabesystem, das eine genaue Kontrolle der chemischen Präsenz ermöglicht und die Abgabe der chemischen Mischung auf alle Bereiche des Substrats ermöglicht. Darüber hinaus bietet CONCEPT One Reactor auch eine Reihe von Funktionen zur Verbesserung der Dünnschichtabscheidung. Je nach Substrat und gewünschter Folie kann der Reaktor zur chemischen und thermischen Abscheidung oder für eine Kombination der beiden ausgebildet sein. Darüber hinaus bietet der Reaktor eine automatisierte, genaue Kalibrierung und Diagnose, um präzise Abscheidungsergebnisse zu gewährleisten. CONCEPT ONE Reactor ist ein hervorragendes Werkzeug für die moderne, schnelle Abscheidung von Dünnschichtmaterialien. Es bietet eine präzise Temperatur- und Chemikalienkontrolle, wodurch eine breite Palette von Substraten mit verbesserter Gleichmäßigkeit und erhöhter Produktivität verarbeitet werden kann.