Gebraucht NOVELLUS Inova NExT #9236710 zu verkaufen

NOVELLUS Inova NExT (Next Generation Extrusion) ist ein revolutionärer fortgeschrittener Abscheidungsreaktor, der eine ultrapräzise Filmdickensteuerung, verbesserte Prozessgleichmäßigkeit und einheitliche Abscheiderate ermöglicht und gleichzeitig wiederholbares Materialverhalten mit hohen Produktionsanforderungen bietet. Das System nutzt dielektrisches Einfangen an der Quelle und erweiterte reaktive und inerte Gasflusssteuerung, um Nanometer-Material genau auf Substrate mit extremer Gleichmäßigkeit zu sprühen. Mit Hilfe eines hochfrequenten Niederleistungs-Hochfrequenzsignals (13,56 MHz) in Doppelkammerkonfiguration mit integrierter Gasförderung und darunter liegender Substratspannanordnung ermöglicht NExT die Anregung reaktiver Gasarten beim Eintritt in die Kammern. Die resultierende Reaktion erzeugt ein energetisches Plasma, das mit einer in einem dielektrischen Material gefangenen und gleichmäßig über den Hohlraum verteilten Trockenladung im zentralen Kern des Reaktors eingeschlossen wird. Die resultierende Materialabscheidung auf dem Substrat ist vollkommen gleichmäßig, reproduzierbar und steuerbar. Der HF-Generator des NExT-Reaktors kann sowohl im Spitzen- als auch im Dauerbetrieb eingesetzt werden, um die gewünschte Foliendicke und Gleichmäßigkeit bei höchstmöglichem Durchsatz zu liefern. Das System ist softwaregesteuert und liefert Echtzeit-Rückkopplung von Parametern im Zusammenhang mit dielektrischem Einfangen, reaktivem Gasstrom, Substratklemmvorrichtung und mehr. Durch die Verwendung dieser Daten können Rezepte erstellt und präzise optimiert werden, um eine ultradünne Filmabscheidung mit minimaler Partikelerzeugung und hohen Abscheidungsraten zu ermöglichen. NExT eignet sich bestens für verschiedenste Materialanwendungen. Dazu gehören Hochk-Dielektrika, Mehrschichtkondensatoren (MLC), Low-K-Dielektrika, Barrieren und SLIM® Kondensatoren. Mit produktionsfähigen Speicherstapeln von Topografien, die sich nun bis zu 32 Schichten nähern, eröffnet dieses System die Möglichkeit einer beispiellosen Leistung und Integration in einem einzigen Werkzeug. Inova NExT bietet sowohl Geräteherstellern als auch Endanwendern erhebliche Vorteile. Seine einzigartigen Fähigkeiten, kombiniert mit seiner Fähigkeit, die Produktionsanforderungen für Gerätestrukturintegrität, Leistung und Skalierung/Schichtung zu erfüllen, schaffen eine Lösung, die in der Lage ist, die Betriebskosten zu senken und dem Produkt einen Mehrwert zu verschaffen.