Gebraucht NOVELLUS Inova NExT #9283648 zu verkaufen

NOVELLUS Inova NExT ist eine hochmoderne, fortschrittliche Waferbearbeitungsanlage, die auf hohe Erträge und niedrige Betriebskosten ausgelegt ist. Es verfügt über ein innovatives ringförmiges Kammerdesign, das Hochleistungsabscheidungsprozesse ermöglicht und gleichzeitig die Gesamtbetriebskosten des Systems reduziert. Es ist ideal für Anwendungen, die einen hohen Durchsatz und/oder mehrere Kombinationen von Abscheideprozessen erfordern, oder die Wafer haben, die größer als die Standardgröße sind. Inova NExT besteht aus vielen fortschrittlichen Komponenten, darunter der NEXt-Gen Ringreaktor, ein Hochtemperaturabscheidungswerkzeug mit einem patentierten Ringspalt. Diese Konstruktion ermöglicht eine gleichmäßige Erwärmung des Substrats und Abscheidung von Material durch eine Vielzahl von Prozessparametern und Temperaturen. Das Tool verfügt außerdem über eine optimierte Foliengleichmäßigkeit und höhere Abscheideraten als Standardwerkzeuge. NOVELLUS Inova NExT verfügt außerdem über eine fortschrittliche Temperaturregeleinheit und Substratkühlmaschine, die in der Lage ist, eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Prozesskammer aufrechtzuerhalten und einen effektiven Wärmeübergang zwischen Wafer und Abscheidungszone zu gewährleisten. Dies ermöglicht die Qualitätskontrolle bei jedem Schritt des Prozesses und sorgt für einheitliche Ergebnisse. Das Tool bietet auch erweiterte Automatisierungsfunktionen wie integriertes Datenmanagement, Fernzugriff und eine erweiterte Prozesssteuerungssuite. Der NEXt-Gen Ringreaktor verwendet ein Stickstoff-Stickstoff-Gemisch als Trägergas und sorgt für eine sichere, inerte Atmosphäre, die dem Werkzeug dabei hilft, hochleistungsfähige, präzise Abscheidungsprozesse zu erzielen. Die Konstruktion ermöglicht auch eine einfache Skalierung der Anlage für größere Prozessvielfalt und höhere Serienproduktion. Neben dem NEXt-Gen Ringreaktor enthält Inova NExT auch ein abstimmbares Ätzwerkzeug. Dieses Tool verwendet ein patentiertes RF-Signal und einheitliche Prozessrezepte, um eine präzise Ätzung zu gewährleisten, ohne dass eine manuelle Anpassung der Ätzparameter erforderlich ist. Dies ermöglicht hochpräzise Ätzprozesse und reduziert das Risiko von Waferschäden. NOVELLUS Inova NExT ist die ideale Technologie für die heutigen Anforderungen an die Waferverarbeitung und bietet zuverlässige Leistung, erhöhten Durchsatz und Kosteneinsparungen. Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich fortschrittliche Verpackung, dielektrische Abscheidung, 3D-Geräteproduktion, Mikrofertigung und vieles mehr.