Gebraucht NOVELLUS Inova NExT #9313086 zu verkaufen

NOVELLUS Inova NExT ist ein Halbleiterverarbeitungsreaktor zur Herstellung integrierter Schaltungen (ICs). Es handelt sich um ein fortschrittliches Multiwafer-Verarbeitungssystem, das aus einem hochpräzisen Wafer-Transfermodul und einer Verarbeitungskammer besteht. Das Wafer-Transfermodul erleichtert die Waferbewegung zwischen der Bearbeitungskammer und einem Wafer-Pufferspeicher sowie seinen zugehörigen Bearbeitungswerkzeugen. Zur parallelen Bearbeitung mehrerer Wafer wird die Bearbeitungskammer mit einem oder mehreren der zugehörigen Prozesswerkzeuge zusammengefügt. Inova NExT verwendet zwei verschiedene Prozessgase, um dünne Filme abzuscheiden und zu ätzen und lithographische Strukturierungen durchzuführen. Die beiden Gase sind Stickstofftrifluorid (NF3), das zur Abscheidung dünner Filmschichten verwendet wird, und Schwefelhexafluorid (SF6), das zum Ätzen von Schichten verwendet wird. Ein On-Board-Massendurchsatz (MT) -System steuert und überwacht die Zufuhr dieser Prozessgase. Die Abgabesteuerung wird mit einer proprietären Methode der „fraktionierten Teilung“ von Gasmolekülen verwaltet, die eine schnelle Dispergierung von Gasen in mehreren Strömungsrichtungen auf ultrafeiner Ebene ermöglicht. Zu den fortschrittlichen Merkmalen von NOVELLUS Inova NExT gehören auch ein Multi-Gas-Modul, das eine Kombination aus NF3 und SF6-Gassteuerung sowie ein spezielles Steuermodul bietet, mit dem Anwender mehrere Prozessgase gleichzeitig mischen und steuern können. Darüber hinaus bietet diese ultrapräzise Prozesskammer eine fortschrittliche Temperatur- und Gleichmäßigkeitsbearbeitung, die die Integrität der Dünnfilmschicht sowie ihre gewünschten elektrischen Eigenschaften gewährleistet. Neben den Prozesstechnologien umfasst Inova NExT eine Reihe proprietärer Software-Tools, mit denen die Betriebsbedingungen der Prozesskammer programmiert und gesteuert werden. Dazu gehören Funktionen zur Fernüberwachung, Steuerung und Anpassung aller Gasströme sowie Datenerfassung, Datenarchivierung, Rezepturverwaltung, Umgebungsmanagement und Prozesssteuerung. Insgesamt bietet NOVELLUS Inova NExT eine robuste und hochpräzise Plattform für die Waferbearbeitung, die die Entwicklung komplexer, leistungsstarker integrierter Schaltungen ermöglicht. Seine fortschrittlichen Prozesstechnologien und Software-Tools gewährleisten eine zuverlässige Herstellung komplexer ICs mit wiederholbarer und berechenbarer Leistung.