Gebraucht NOVELLUS Inova XT #9375328 zu verkaufen

NOVELLUS Inova XT Reactor ist ein Lithographiewerkzeug der nächsten Generation, das die Herstellung von Halbleitermikroformen ermöglicht. Inova XT ist ein hochautomatisiertes, computergesteuertes Gerät, das fortschrittliche Ätzprozesse schnell, effizient und zuverlässig durchführen kann. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Prozessen zu liefern, um spezifische Geräte- und Prozessanforderungen zu erfüllen. Das System besteht aus einem Versorgungsmodul, Lademodul, HF-Generator und Aushärtungsofen. Das Versorgungsmodul beherbergt die Prozessgase, Säuren und Reinigungslösungen, die für das reaktive Ionenätzen benötigt werden. Das Lademodul lädt und entlädt automatisch Substrate auf ein elektrostatisches Spannfutter, was schnelle Änderungen in Substratformaten ermöglicht. Der HF-Generator verwendet Mikrowellenfrequenz, um reaktive Ionen zu liefern, um eine Vielzahl von Prozesschemien zu ätzen und zu aktivieren. Der Härtungsofen dient der Aushärtung und Trocknung von Photoresist und der Verarbeitung von Chemikalien. NOVELLUS Inova XT verwendet eine präzise Kontrolle über den Ätzprozess, um eine überlegene Prozesseffizienz zu erzielen. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von Ätzprozessen, von nassen bis trockenen Ätzprozessen, mit einer Vielzahl von Chemikalien und Reaktionen unterstützt. Alle Prozesse wie Sauerstoff, Wasserstoff, Argon, ICP, ECR, CMP, Quarzetch und Fluoretch werden unterstützt. Die Maschine kann auf die Bedürfnisse einzelner Substrate und Prozesse zugeschnitten werden. Darüber hinaus hat Inova XT Sicherheitsfunktionen wie die Balgisolierung, die Dynamik des Kammerventilators, minimierte Kontakt-Substrat-Lasten, Gassicherheitsplatte und Rückkopplungsprozesse eingebaut. Ein automatisierter Monitor verfolgt auch Prozessabläufe und liefert detaillierte Prozessanalysen. Um hohe Erträge und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, verwendet NOVELLUS Inova XT eine Reihe fortschrittlicher Funktionen und Funktionen. Es enthält ein Sensor-Schnittstellenmodul, eine automatische Kalibrierung, einen Mikrocontroller und eine integrierte Schnittstelle. Dieses integrierte Werkzeug ermöglicht es dem Reaktor, sich schnell auf Änderungen im Ätzprozess einzustellen und bietet ein effektives Werkzeug zur Optimierung der Prozessbedingungen auf verschiedenen Substraten. Insgesamt ist Inova XT Reactor ein hochentwickelter, effizienter und sicherer Ätzreaktor, der präzise und kontrollierbare Ätzprozesse liefern kann. Die Automatisierungs- und Feedbackmechanismen von NOVELLUS Inova XT ermöglichen einen schnellen und wiederholbaren Ätzprozess, und das integrierte Asset sorgt für hohe Erträge und Wiederholbarkeit.