Gebraucht NOVELLUS Inova XT #9393590 zu verkaufen
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ID: 9393590
Wafergröße: 12"
PVD System, 12"
BROOKS MAG7 Robot
NOVELLUS MC3 Module controller
PFEIFFER Turbo and controller
(3) CTI / HILEX / BROOKS Cryo pumps
(4) BROOKS FOUP Cassette wafer loaders
VAT Throttle valve and controller
ADVANCED ENERGY PDX 5000 RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500 RF Generator
MKS RF Generator
PVD Chamber
Preclean chamber
Right degas chamber
Left degas chamber
Sputter
Transfer module with dual blade
Dual brooks robot transfer
DC power supply
Qty / Part number / Make / Model / Description
(1) / PA07060 / TREK / - / Power supply
(2) / DCS80-13E / SORENSEN / - / DC Power supplies: 0-80 V, 0-13 A / 1000 W
(1) / CPW2870B10 / CPI / - / 27-251231-00 DC Sputtering power supply
(1) / 3155051-015A / ADVANCED ENERGY / RFG 5500 / M/N: 3155051-015A RF Generator
(1) / 684-1 / TREK / - / NOVELLUS R19-137359-00, 416092, ESC Power supply: 6 Phase
(1) / RPG-50 / MKS / ENI / RPG-50A / Bipolar pulsed DC Generator
(1) / 27-156757-00 / ADVANCED ENERGY / PDX 5000 / RF Generator, M/N: 3156043-204
(1) / 03-12785-00 / NOVELLUS / - / 02-128733-00 PVD Assy SIOC Controller
(1) / 02-288084-00 / NOVELLUS / - / WTS-HV Sesioc 0, Rev.A
(1) / 02-271697-00 / NOVELLUS / - / WTS-HV Sesioc 3 IXT, Rev.A
(1) / 02-266875-00 / NOVELLUS / - / 02-266875-00 4 IXT WTS HV 4
(1) / 02-253704-00 / NOVELLUS / - / ASSY MC3E Controller with Ethernet 75-261867-00
(1) / 02-257935-00 / NOVELLUS / - / MC3E Platform controller with Ethernet 79-257795-00
(2) / 651D-16202 / MKS / - / Throttle valve controllers
(1) / TMH 071 P / PFEIFFER / BALZERS / - / Turbomolecular
(1) / 02112-BA24-APN1/0022 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / 02112-BA24-APN1/0017 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0018 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0002 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-335571
(1) / 02112-BA24-APN1/0008 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0016 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0024 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / 02112-BA24-APN1/0019 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-288644
(1) / 02112-BA24-APN1/0004 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0002 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0434 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-529666
(1) / 02112-BA24-APN1/0023 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / - / PFEIFFER / TMU521P / PM P03 120H, PM P03 120 C with TC750-E74, PM C01 712, Turbo pump
(1) / - / PFEIFFER / TMU521P / PM P03 855 with TC750 Special DS15, PM C01 711, Turbo pump
(1) / - / PFEIFFER / TMH 071 P/ Turbomolecular pump with TC750-E74, PM C01 712
(1) / 8116079G001 / CTI-CRYOGENICS / - / Cryo pump, HELIX Control sputtering
(1) / 14036-PE24-0004 / VAT / - / Gate valve 14036-PE24-0004
(1) / 003-1600-25 / BROOKS / Magmatran 7 / Wafer transfer robot
(1) / 002-7090-03 / BROOKS / - / Wafer transfer robot
(1) / - / PFEIFFER / TMU 1001 P / Turbo pump PM P02 875, DN 200CF-F, 3P With TC-750 SPECIAL DS15 PMC01 711
(1) 27-265775-00 / NOVELLUS / AE Mercury 3013 Match, 3150274-009.
NOVELLUS Inova XT ist eine Mehrkammer-Halbleiterverarbeitungsanlage für die Herstellung von Geräten der nächsten Generation. Das System ist mit drei chemisch isolierten Kammern mit jeweils unterschiedlichen Prozessmodulen ausgestattet, die den spezifischen Anforderungen jeder Anwendung angepasst werden können. Es verfügt über überlegene thermische Verarbeitung, Ätzen, Abscheidung und saubere Anwendungen, alle mit minimalem Risiko von Kreuzkontamination. Die erste Kammer von Inova XT ist den Abscheidungsprozessen gewidmet. Dazu gehören plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD), Atomschichtabscheidung (ALD) oder physikalische Dampfabscheidung (PVD). Diese Kammer ist auch in der Lage, chemische Etch™ oder Sprühverfahren zum Trockenätzen zu verwenden. Es ist auch kompatibel mit verschiedenen Quellmaterialien, und seine Flexibilität ermöglicht es, für Anwendungen wie dielektrische, Metall, Barriere und dreidimensionale (3D) Abscheidung verwendet werden. Die zweite und dritte Kammer werden beide für Ätzprozesse verwendet. Die zweite Kammer ist speziell für die flache Trenchisolierung und lokale Oxidation von Silizium (STI/LOCOS) Ätzprozessen ausgelegt. NOVELLUS Inova XT wurde entwickelt, um die Ätztiefe genau zu steuern und die Übertragung mit weitreichenden Prozessgasen, variablen HF-Ausgängen und Direct-Down-Wafer-Sensoren für eine minimale Partikelerzeugung zu ermöglichen. Die dritte Kammer ist auch ausgerüstet, Trockenätzprozesse durchzuführen, wobei sowohl ionisierte Clusterstrahlen (ICB) als auch reaktives Ionenätzen (RIE) verwendet werden. Es bietet Präzisionsätzverfahren für mehrere Metalle, Dielektrika und andere Materialien. Inova XT bietet mit seiner fortschrittlichen verfahrenstechnischen Software eine hochpräzise Prozesssteuerung. Diese automatisierte Einheit kann Gasströme, Temperaturen, Drücke, Leistungsstufen und andere Parameter in Echtzeit verfolgen. Es ist auch mit Stabilitäts- und Sicherheitsmerkmalen wie schnelle Wendezeit, robuste Steuerung, Fehlerüberwachung, eingebaute Sicherheitsalarme und automatische Maschinenabschaltung ausgestattet, um ein hochwertiges Endprodukt zu gewährleisten. Insgesamt ist NOVELLUS Inova XT ein leistungsstarkes und zuverlässiges Werkzeug, das speziell für fortschrittliche Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Seine Mehrkammer-Architektur und sein breites Spektrum an Abscheide- und Ätzfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen. Seine fortschrittliche Prozesssoftware und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer zuverlässigen und wirtschaftlichen Lösung für jeden Benutzer, der maximale Ergebnisse erzielen möchte.
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