Gebraucht NOVELLUS Inova #293589650 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein Plasmaätzreaktor, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es verwendet Hochfrequenz (RF), um ein Plasma aus einem Gemisch von Gasen zu erzeugen, das Substrat dem Plasma auszusetzen und dann das Plasma zum Ätzen des Substrats zu verwenden. Der Reaktor besteht aus einer Vierkammerausführung mit mehreren Hochfrequenzleistungsquellen. Die einzelnen Kammern können für verschiedene Arten von Ätzprozessen konfiguriert werden. Die Hauptkammer des Reaktors ist, wo das Substrat für die Verarbeitung platziert wird. Diese Kammer ist mit einer Gasquelle, typischerweise einer Gaszuleitung, verbunden, die ein Gemisch verschiedener Gase enthält. Zur Optimierung des Ätzprozesses können das Gasgemisch, der Druck und die Temperatur in dieser Kammer gesteuert werden. Das in dieser Kammer erzeugte Plasma wird durch Magnetfelder begrenzt und aufrechterhalten, und die Form des Plasmas kann eingestellt werden. Die zweite Kammer des Reaktors besteht aus zwei unabhängig gesteuerten Hochfrequenzquellen. Die Netzteile können sowohl in Frequenz als auch in Amplitude eingestellt werden, um das Plasma zu regulieren. Die Stromquelle kann verwendet werden, um große, gleichmäßige Plasmen zu erzeugen und zu erhalten. Die dritte Kammer des Reaktors besteht aus zwei „Sparkplug-Elektroden“, mit denen ein starkes elektrisches Feld zwischen der Hauptkammer und den Stromquellen erzeugt wird. Mit diesem elektrischen Feld kann das Plasma in der Hauptkammer geformt und manipuliert werden. Schließlich besteht die vierte Kammer des Reaktors aus einem Vakuumsystem, mit dem der Druck innerhalb der Hauptkammer aufrechterhalten wird. Es zieht die Gase aus der Hauptkammer, nachdem das Ätzen abgeschlossen ist, die Gefahr der versehentlichen Exposition gegenüber Gefahrstoffen zu beseitigen. Insgesamt ist Inova ein fortschrittlicher, zuverlässiger Plasmaätzreaktor, der für eine Vielzahl von Ätzprozessen eingesetzt werden kann. Seine einzelnen Kammern können für unterschiedliche Ätzprozesse konfiguriert und seine Leistungsquellen zur Erzeugung und Manipulation großer, gleichmäßiger Plasmen verwendet werden. Darüber hinaus bietet sein Vakuumsystem die Sicherheit, dass Gefahrstoffe niemals außerhalb des Reaktors freigelegt werden.