Gebraucht NOVELLUS Inova #293742707 zu verkaufen

Hersteller
NOVELLUS
Modell
Inova
ID: 293742707
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
PVD System, 12" 2008 vintage.
NOVELLUS Inova Reaktor ist eine Hochleistungsanlage für die Abscheidung und Ätzverarbeitung. Es kombiniert die neueste fortschrittliche Technologie, um auf flexible und kosteneffiziente Weise eine verbesserte Prozessqualität und einen höheren Durchsatz zu erzielen. Der Inova-Reaktor wurde unter Berücksichtigung der Modularität entwickelt, um den Anforderungen einer größeren Produktion gerecht zu werden. Es bietet eine genaue, gleichmäßige Zufuhr von Gasen in die Prozesskammer sowie eine präzise Steuerung von Druck und Temperatur während des gesamten Prozesses. NOVELLUS Inova Reaktor verfügt auch über und effiziente Kühlsystem, um Prozesskontrolle und Stabilität während der verlängerten Produktionszeiten zu gewährleisten. Der Inova-Reaktor wird über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche gesteuert, die eine einfache und effiziente Bedienung ermöglicht. Das Gerät umfasst erweiterte Messfähigkeiten mit Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern, die verwendet werden können, um die gesamten Prozessergebnisse zu verfolgen und zu verbessern. NOVELLUS Inova Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Abscheidung und Reinigung durchzuführen. Die Maschine ist mit flexiblen Werkzeugen für die physikalische und chemische Dampfabscheidung (CVD) wie Plasma Enhanced CVD und Atomic Layer Deposition (ALD) ausgestattet. Die Anzahl der bearbeitbaren Schichten und Materialstapel ist nur durch die Phantasie des Benutzers begrenzt. Das Werkzeug verfügt auch über eine Reinluftkammer, die einen konstanten Druck innerhalb der Prozesskammer hält, um Störungen durch Prozessgase zu beseitigen. Zusätzliche Funktionen wie das integrierte Sicherheitselement, warnen den Bediener schnell, falls jeder Prozessparameter über akzeptable Grenzen hinausgeht. Inova ist auch robust und zuverlässig konzipiert. Das Modell verfügt über korrosionsbeständige Kammern, um eine optimale Leistung auch unter extremen Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Es ist auch mit fortschrittlichen Fehlererkennungs- und Wiederherstellungssystemen ausgestattet, die Ausfallzeiten reduzieren, kostspielige Reparaturen verhindern und einen kontinuierlichen Workflow gewährleisten. Abschließend bietet der NOVELLUS Inova Reaktor die ultimative Kombination aus Flexibilität, Leistung und Zuverlässigkeit. Seine erweiterten Fähigkeiten und sein Design machen es zu einer idealen Lösung für Kunden, die eine höhere Prozessqualität mit geringeren Kosten erreichen möchten.
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