Gebraucht NOVELLUS Inova #9188671 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein modularer Atomschichtabscheidungsreaktor (ALD) für präzise optische Beschichtungsanwendungen wie AR/VR/MR-Displays, Unterhaltungselektronik, optische Kommunikation und medizinische Optik. Inova bietet die beispiellose Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Kontrolle (bis zu 0,01 Mikron), die für die Herstellung fortschrittlicher optischer Systeme erforderlich sind. NOVELLUS Inova arbeitet mit zwei unabhängigen Prozesszonen und verwendet einen beheizten LMT-Mechanismus (Linear Motion Transport) für überlegenes Substrathandling. Die Konstruktion ermöglicht die gleichzeitige Bearbeitung von Substraten in beiden Prozesszonen ohne Unterbrechung. Spezialisierte Verfahrenstechnik sorgt für Energieeinsparung und optimalen Materialeinsatz und bietet gleichzeitig eine überlegene elektrische Isolation. Inova wird durch eine optimierte Betriebssoftware angetrieben, um ein einfaches und intuitives Benutzererlebnis zu ermöglichen. NOVELLUS Inova verfügt über ein Touchscreen-Display und eine kundenspezifische GUI für wesentliche Prozessüberwachung und präzise Steuerung. Systemparameter, Abscheideprozesse (jeweils bis 0,01 Mikron), Rezepte und Einstellungen können individuell an die Bedürfnisse der Anwender angepasst werden. Inova verfügt über eine breite Palette von Advanced Precise Technologies (APT), wie das AIRESite-System, das zuverlässige fehlerfreie mehrschichtige dünne Folien und Beschichtungen, eine leistungsarme Co-Abscheidung von hoch- und ultradünnen Folien und eine reaktive Elementabscheidung (einschließlich ALD) ermöglicht. Es bietet auch einstellbare Prozesssteuerungseinstellungen für Druck, Temperatur, Gasfluss, Plasma, Licht und mehr und ermöglicht Prozessoptimierung. NOVELLUS Inova ist hermetisch versiegelt, um das Kontaminationsrisiko zu reduzieren und eine optimale Beschichtungsgenauigkeit zu gewährleisten. Es enthält auch ein leistungsstarkes Streumodul (oder ein gezieltes Bestrahlungsmodul), das hochwertige Beschichtungen auf einer größeren Palette von evaneszenten und hochdurchlässigen optischen Komponenten ermöglicht. Inova ist für die einfache Installation konzipiert und kann an eine Vielzahl von Labor- und Produktionsumgebungen angepasst werden. Optionales Zubehör für die Abscheidekammer umfasst einen geschlossenen Probenaufzug, ein drehbares Boot und eine Vakuumversorgungseinheit, die alle leicht installiert, konfiguriert und in der Laboreinstellung verwendet werden können. Darüber hinaus unterstützt NOVELLUS Inova NOVELLUS Service Toolkit, eine leistungsstarke Suite von Engineering und Support-Tools, mit denen Benutzer das System effizient überwachen, debuggen und warten können. Darüber hinaus können NOVELLUS-Experten bei Bedarf Prozesse durch Ferndiagnose analysieren und optimieren. Inova ist die ideale Lösung für diejenigen, die eine fortschrittliche, sichere und kostengünstige Lösung für die präzise optische Filmproduktion suchen.