Gebraucht NOVELLUS Inova #9188675 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist eine Reaktionskammer zur Bearbeitung verschiedener Hochtemperaturoperationen wie Abscheidung dünner Filme und wärmebehandelnder Filme auf einem Substrat. Es umfasst alle notwendigen Merkmale für eine effiziente Substratverarbeitung, wie Vakuumintegrität, gleichmäßige Temperaturverteilung, Partikelreinigungsfähigkeiten und hohen Durchsatz. Inova wurde entwickelt, um bis zu 4 "-Wafersubstrate mit einer maximalen Temperaturstärke von 1.100 ° C in einer inerten Atmosphäre zu behandeln. Es verfügt über ein leistungsstarkes Niedervakuum-Induktions-Heizsystem, das schnelle Heizraten ohne die Gefahr von Verunreinigungen durch thermisches Auslaufen erreichen kann. Darüber hinaus bietet die robuste lineare Heizgeschwindigkeitsregelung eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit in der gesamten Kammer. Die Partikelreinigungsfunktionen von NOVELLUS Inova werden durch die Kombination mehrerer Vakuumreinigungskomponenten, einschließlich einer Turbopumpe und einer mechanischen Rotationspumpe, und durch eine Kombination mehrerer Filter gewährleistet. Die effektiven Kombinationssensoren in der Kammer erhöhen die Partikelreinigungsfähigkeit weiter. Inova bietet ausgezeichneten Durchsatz mit seinen schnellen Zykluszeiten und geringen Stellflächen. Die hochentwickelte Betriebssoftware ermöglicht es dem Benutzer, beliebige Betriebsabläufe und Parameter zu programmieren, wodurch die Herstellung großer Volumina von Komponenten eine einfache Aufgabe ist. Neben seiner einfachen Bedienung und zuverlässigen Leistung verfügt NOVELLUS Inova über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie doppelwandige Vakuumkammerkonstruktion für Sicherheit und effizientes Energiemanagement, Gaskühlsysteme, ausfallsichere Schutzmechanismen und Wärmeschutzelemente. Inova ist eine sehr vielseitige und zuverlässige Reaktionskammer mit einem breiten Anwendungsspektrum. Es ist ein unschätzbares Werkzeug für die Materialbearbeitung und bietet eine robuste Lösung zur Manipulation von Substraten in anspruchsvollen thermischen Prozessen.