Gebraucht NOVELLUS Inova #9204137 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der aus drei Kernkomponenten besteht: einer metallbeheizten Kammer, einer präzisen Gaskontrolleinrichtung und einer rotierenden Reaktorquelle. Die metallbeheizte Kammer ist eine halbzylindrische Edelstahlkonstruktion, die in zwei Fächer unterteilt ist: die untere für die Substratheizung und die obere für das Gasleistungs-Turbopumpsystem. Das untere Fach der beheizten Kammer besteht aus Lochgittern mit E-Spannelektroden, die wie eine Plattform zur Steuerung und Modulierung der Substratheiztemperatur wirken. Das obere Fach beherbergt die Gas- und Turbopumpsysteme, die eine kontrollierte Umgebung für die chemische Dampfabscheidung bieten. Die präzise Gassteuerung im Inova-Reaktor ermöglicht eine hochpräzise Steuerung von Prozessgasen während der Abscheidung. Es bietet eine direkte Kontrolle über die Gasverteilung um das Substrat, die helfen kann, die Filmbildungsrate und Gleichmäßigkeit zu optimieren. Die Gaskontrollmaschine schließt Massenflusskontrolleure, Sicherheitsabsperrvorrichtungsklappen, Druck-Wandler ein, Flussklappen und Mikroblasenflussentdecker messend. Größe und Form des zu beschichtenden Substrats können in den NOVELLUS Inova Reaktor programmiert werden. Die rotierende Reaktorquelle führt eine Orbitalmusterbewegung über das Substrat aus, wodurch eine gleichmäßige Abdeckung der gewünschten Folie erreicht wird. Zusätzlich können Druck, Durchfluss und Temperatur jedes der Abscheidegase separat geregelt werden, so dass hochkomplizierte und komplexe Folien abgeschieden werden können. Insgesamt ist Inova ein zuverlässiges und hochgenaues CVD-Gerät. Seine Kombination aus Komponenten und die Fähigkeit, die Parameter des Abscheidungsprozesses genau zu steuern, machen es ideal für die Herstellung fortgeschrittener dünner Filme. Es wurde in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, einschließlich Halbleiter, Display, Mikroelektronik und Optik. Die Skalierbarkeit und Flexibilität des Geräts machen es auch für Forschungs- und Entwicklungszwecke vielseitig genug.