Gebraucht NOVELLUS Inova #9272601 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein revolutionärer plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor, der den Durchsatz maximiert und Kosten für Anwendungen wie die Abscheidung von Dünnschichtoptoelektronik, Dünnschichttransistoren (TFTs) und anderen fortschrittlichen Materialien für die Halbleiterindustrie senkt. Inova Plasmaquelle ist eine patentierte Technologie, die ein einfaches und zuverlässiges Design verwendet, um energetisches, nicht-thermisches Plasma zu erzeugen und an eine breite Palette von Plasmaparametern und thermischen Budgetanforderungen angepasst werden kann. Das einzigartige Design dieses Reaktors bietet auch eine anpassbare Teilchenbeschleunigung und kann entweder mit HF- oder DC-Stromquellen betrieben werden. NOVELLUS Inova Plasmaquelle kann mit Drücken bis 6 mTorr und Temperaturen bis 700 C betrieben werden, um Geräte mit minimaler Dichte, Dicke und Gleichmäßigkeit zu produzieren. Der Reaktor enthält auch eine Reihe von zusätzlichen Merkmalen, wie eine variable Frequenz und Temperaturrampensystem, die zusätzliche Kontrolle über die Plasmaumgebung bieten. Inova kann mit praktisch jeder Gaschemie verwendet werden, einschließlich derjenigen, die für spezifische Anwendungen vorkombiniert sind. Alternativ können auch binäre und tertiäre Gaschemien eingesetzt werden, um die gewünschten Effekte und Ergebnisse genau zu steuern. Damit kann NOVELLUS Inova in Anwendungen eingesetzt werden, bei denen Präzision und Genauigkeit von größter Bedeutung sind. Das einzigartige Inova-Design beinhaltet auch eine selbstreinigende Funktion, mit der chemische Ablagerungen innerhalb weniger Minuten aus dem Quellblock entfernt werden können. Dadurch wird sichergestellt, dass der Block frei von Verunreinigungen bleibt und der gesamte Prozess sauber und kontaminationsfrei bleibt. Darüber hinaus verfügt NOVELLUS Inova über eine Vielzahl von Funktionen und Funktionen, mit denen die Systemkonfiguration an bestimmte Operationen und Anwendungen angepasst werden kann. Zum Beispiel wird die Software regelmäßig aktualisiert, um sicherzustellen, dass alle neuen Funktionen hinzugefügt werden und um eine optimale Leistung in den anspruchsvollsten Anwendungen zu gewährleisten. Zusammenfassend ist Inova ein revolutionärer plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor, der höchste Flexibilität, Genauigkeit und Präzision für Halbleiteranwendungen bietet. Das einzigartige Design bietet eine breite Palette an variablen Frequenz-, Temperaturrampen- und Selbstreinigungsfunktionen, mit denen das System auf jede spezifische Anwendung zugeschnitten werden kann. Schließlich stellt das zuverlässige und effiziente Design dieses Reaktors sicher, dass der gesamte Prozess sauber und kontaminationsfrei ist und somit ideal für eine Reihe von Halbleiteranwendungen geeignet ist.