Gebraucht NOVELLUS Inova #9284588 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein Werkzeug für die Serienfertigung integrierter Schaltungen. Es ist ein Multi-Wafer, hochpräzise Plasma-basierte physikalische Dampfabscheidung (PVD) Werkzeug, das erweiterte Abscheidung Fähigkeiten für Wafer Herstellung ermöglicht. Die Ausrüstung ist mit einem Duschkopf und Source-High-Lift-Verarbeitungsfunktionen ausgestattet und wurde entwickelt, um eine fortschrittliche Produktabscheidung mit verbesserter Abscheidungsgleichmäßigkeit, außergewöhnlicher Dickenkontrolle und hoher Durchsatzleistung zu ermöglichen. Das System besteht aus einem zentralen Körper, der mehrere Komponenten beherbergt, darunter einen Duschkopf, einen Low-K-Film-Deposition-Motor, einen Low-K-Backside-Drop-Motor, eine Hochliftquelle, Prozesskammern und einen Wäscher. Der Duschkopf umfasst eine Mischkammer mit einem einzigen Einlass und mehreren Abgasauslässen. Es hat auch verstellbare Gasdiffusorplatten und eine verstellbare Düse, um eine optimale Prozesssteuerung zu gewährleisten. Die Low-K-Folienabscheidungsmaschine arbeitet mit der High-Lift-Quelle zusammen, um überlegene Filmabscheidungsmöglichkeiten bereitzustellen. Seine Mehrzonen-Steuerungstechnologie gewährleistet eine präzise Abscheidung verschiedener dünner Filme mit niedrigen k, wodurch gewünschte Eigenschaften wie hohe elektrische Leitfähigkeit, mechanische Stabilität und keine Nadelöcher oder Foliendefekte erreicht werden. Der Low-K Backside Drop Motor arbeitet in Verbindung mit dem Duschkopf, um Low-K Backside Drops abzulegen. Dies gewährleistet eine effiziente Geräteisolierung und ermöglicht eine fortschrittliche Lithographie. Die Hochhubquelle ist für die Durchführung von Vor- und Nachfertigungsprozessen verantwortlich. Es ist mit mehreren erweiterten Funktionen ausgestattet, einschließlich einer Prozesseinspritzeinheit und einer Gleichmäßigkeitseinstellmaschine. Die Hochhubquelle arbeitet im Hochgeschwindigkeitsmodus, um eine hohe Durchsatzleistung zu gewährleisten. Die Prozesskammern des Werkzeugs sind mit mehreren Quellen und einem Plasmabrenner ausgestattet, um hohe Abscheideraten zu ermöglichen. Der Wäscher arbeitet mit den Prozesskammern zusammen, um chemische Verunreinigungen zu entfernen und sicherzustellen, dass das Gut den Umwelt- und Gesundheitsstandards entspricht. Inova ist ideal für die Herstellung von Wafern und ermöglicht die Abscheidung von dünnen Filmen mit niedrigen k-Werten mit hervorragenden Leistungseigenschaften. Die Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, erhöht den Durchsatz und entfällt die Notwendigkeit einer häufigen Geräteumstellung. Dies führt zu geringeren Ausfallzeiten und erhöhter Produktionseffizienz. Darüber hinaus bietet das Modell überlegene Genauigkeit und Zuverlässigkeit, was es zu einer idealen Wahl für Serienumgebungen macht.