Gebraucht NOVELLUS Inova #9384622 zu verkaufen

NOVELLUS Inova ist ein Abscheidungsreaktor, der eine hochwertige Dünnschichtabscheidung für Halbleiteranwendungen ermöglicht. Inova kombiniert hohe Seitenverhältnisse, hohe Genauigkeit und eine überlegene Flusssteuerung, um Filme höchster Qualität auf effiziente Weise herzustellen. Der Reaktor ist mit einer Doppelkammerkonfiguration ausgelegt, die es Benutzern ermöglicht, Filme so dünn wie 5 nm abzuscheiden. NOVELLUS Inova hat ein proprietäres elektrostatisches Spannfutter, das verhindert, dass sich während der Abscheidung Partikel und Abfälle ansammeln. Dies reduziert das Risiko einer Kontamination und verbessert die Gleichmäßigkeit auf dem Wafer. Inova verwendet auch eine einzigartige zweite Kammer-Design. Dies ermöglicht eine genaue Flusssteuerung bei unterschiedlichen Temperatur- und Druckniveaus, um eine überlegene Gleichmäßigkeit über den Wafer zu erzeugen und die Leistung des abgeschiedenen Films zu erhöhen. Der Reaktor ist auch mit einer Plasma-basierten Abscheidetechnik ausgelegt, die eine präzise Steuerung der Abscheidegeschwindigkeit ermöglicht und die Zuverlässigkeit der Leistung der Folien erhöht. NOVELLUS Inova kann in einer Vielzahl unterschiedlicher Abscheidungsprozesse eingesetzt werden, darunter Thermal Chemical Vapor Deposition (TCVD), Atomic Layer Deposition (ALD) und Physical Vapor Deposition (PVD). Darüber hinaus verfügt Inova über eine Reihe weiterer Funktionen, die es zu einem leistungsstarken und vielseitigen Ablagerungswerkzeug machen. Die erweiterte Steuerungssoftware ermöglicht eine präzise und wiederholbare Steuerung der Prozessvariablen. NOVELLUS Inova verfügt auch über ein verstellbares Balgsystem, das gleichmäßige Abscheidungsraten und Gleichmäßigkeit über den Wafer erzeugt. Der Reaktor verfügt außerdem über ein ausgeklügeltes optisches Überwachungssystem, das kontinuierlich die Integrität der abgeschiedenen Folie überprüft. Insgesamt ist Inova ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der überlegene Leistung und Ausbeuten bietet. Sein Doppelkammerdesign sorgt für eine zuverlässige und konsistente Abscheidung und sein verstellbares Balgsystem für Gleichmäßigkeit und Genauigkeit. NOVELLUS Inova ist ein leistungsstarkes Werkzeug, dem Halbleiterindustrien weltweit vertrauen, um eine qualitativ hochwertige Dünnschichtabscheidung anzubieten.